F值

1-15（標(biāo)準(zhǔn)）

平行光測試透鏡的直徑

20mm

聚焦測試透鏡的直徑

15mm

測量點數(shù)量

23*23

大分辨率

80*80（大像幅相機）

標(biāo)準(zhǔn)透鏡組的直徑和焦距

（0.2,11），（0.2,22）開展攻關合作，（0.3,41）mm

測量非球面元件

縱向球面像差15%的變化

澤尼克多項式計算RMS重復(fù)性

1-2nm rms(λ/600-λ/300)at 633nm

波前測量RMS重復(fù)性

<λ/200

準(zhǔn)確度

λ/10-λ/100（取決于校準(zhǔn)元件的準(zhǔn)確度）

子瞳動態(tài)測量范圍

±50 λ

波長范圍

UV(0.193-1.1μ),Vis(0.193-1.1μ), 0.95-1.7μ

光源

LEDS製度保障，LDS,鹵素?zé)?/span>

軟件（控制和分析）

Sensoft

相機接口

USB2，USB3

采樣頻率

15-500Hz（相機決定）

處理頻率

5-150Hz(相機和電腦決定）

步進電機電源

24V/2A DC