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TMC外殼

電暈預(yù)電離技術(shù)

固體開(kāi)關(guān)

激光頭尺寸<3I

風(fēng)冷積極,熱管理

可沖洗光學(xué)架

集成4氣門(mén)系統(tǒng)探索,便于氣體處理

RS485RS232產業,USB滿意度,FOC接口

帶有能量穩(wěn)定模式

CE歐標(biāo),RoHS認(rèn)證


指標(biāo):

氣體

ArF

KrF

波長(zhǎng)(nm

193

248

高壓開(kāi)關(guān)

固體開(kāi)關(guān)

固體開(kāi)關(guān)

大脈沖能量(mJ)1)

10

15

大平均功率

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG W

2.4

4.0

4.0

6.5

空間相干性 (μm

300

300

重頻

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG (Hz)

300

500

脈沖寬度 ns

5-8

光束尺寸(V x H(mm)2)

4x6

發(fā)散角(V x H)(mrad2)

1x2

能量穩(wěn)定性

3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 kg

60

冷卻方式

Air

供電要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase


1) 在低頻時(shí)測(cè)量可持續;穩(wěn)定模式下主要抓手,允許10%的能量和功率下降

2) 典型值體製,FWHM




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