行程

（X / Y / Z），mm

±25.0 / ±25.0 / ±15.0

（θx / θY / θz）, deg

±15.0 / ±15.0 / ±30.0

精度

（X / Y / Z）改革創新，μm

按客戶要求

（θx / θY / θz）知識和技能，μrad

±300 / ±300 / ±300

重復性

（X / Y / Z）， μm

±0.51 / ±0.12 / ±0.06

（θx / θY / θz）新模式，μrad

±1.00 / ±1.00 / ±1.00

負載能力實現，kg

≤30.00