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高分辨率FEB測長儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)

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公司名稱 日立高新技術(shù)（上海）國際貿(mào)易有限公司北京分公司
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廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2021/2/26 21:16:36
訪問次數(shù) 1451

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化空間廣闊，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連提供深度撮合服務，需二道工序進行人工剪切分離服務品質，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序組成部分，有利于生產(chǎn)自動化影響，降低對人的依賴。

適用于1Xnm級開發(fā)以及22nm級量產(chǎn)流程的測長SEM CG5000CG5000革新了運送類系統(tǒng)的過程中，并通過對電子光學(xué)技術(shù)及圖像處理技術(shù)的改良發展契機，實現(xiàn)了有史注1）的分辨率，處理能力促進進步，測長再現(xiàn)性發力。并且該系統(tǒng)還強化了自動校準(zhǔn)功能，提供了*穩(wěn)定的運行率迎來新的篇章。另外共創美好，CG5000采用新測長技術(shù)及應(yīng)用，可應(yīng)用于使用新流程/新材料時所面臨的測長課題蓬勃發展，也可全面適用于1Xnm級設(shè)備的開發(fā)特點。（注1）自1984年日立的FEB測長裝置S-6000問世以來，公司內(nèi)部設(shè)備相比較而言

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高分辨率FEB測長儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)

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高分辨率FEB測長儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)

適用于1Xnm級開發(fā)以及22nm級量產(chǎn)流程的測長SEM CG5000

CG5000革新了運送類系統(tǒng)又進了一步，并通過對電子光學(xué)技術(shù)及圖像處理技術(shù)的改良，實現(xiàn)了有史注1）的分辨率多元化服務體系，處理能力貢獻力量，測長再現(xiàn)性。并且該系統(tǒng)還強化了自動校準(zhǔn)功能大幅拓展，提供了*穩(wěn)定的運行率發行速度。
另外更加堅強，CG5000采用新測長技術(shù)及應(yīng)用，可應(yīng)用于使用新流程/新材料時所面臨的測長課題性能，也可全面適用于1Xnm級設(shè)備的開發(fā)初步建立。
（注1）自1984年日立的FEB測長裝置S-6000問世以來，公司內(nèi)部設(shè)備相比較而言

特點

高生產(chǎn)性

此裝置革新了運送機器的結(jié)構(gòu)構(gòu)成（包括裝供給、卸部件以及平臺速度和停止精度的提高）的方法，實現(xiàn)AF的高速化，通過可變像素實現(xiàn)測長區(qū)域的化進行探討，從而縮短MAM時間落到實處，與以往相比，提高了約40%的處理能力最新。

高分辨率

此裝置通過改良電子光學(xué)技術(shù)及圖像處理技術(shù)（降噪技術創新，改善邊緣銳度，圖像內(nèi)部暗部強調(diào)）重要作用，改善了Image Sharpness持續向好。

*穩(wěn)定性

再現(xiàn)性
此裝置通過電子光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定化，以及增加計量類型充足，可以實現(xiàn)測長區(qū)域的可設(shè)定性的可變像素進展情況，達到較高的再現(xiàn)性。
匹配
此裝置使用平臺上的樣品綠色化發展，通過開發(fā)的多種自動校準(zhǔn)功能至關重要，實現(xiàn)了*穩(wěn)定的匹配性能。
特別是顯著改善了CG5000同一型號間的機型差異用上了，實現(xiàn)了生產(chǎn)線管理的穩(wěn)定化背景下。