氦質(zhì)譜檢漏儀
型號(hào)：RBLD201
儀器資料：
RBLD系列氦質(zhì)譜檢漏儀是基于INFICON成套質(zhì)譜模
塊開(kāi)發(fā)而成的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀.它繼承了
INFICON系列產(chǎn)品具有的精確,穩(wěn)定,高重復(fù)性,zui小
維護(hù),低成本和易使用等優(yōu)點(diǎn),在此基礎(chǔ)上,結(jié)合睿
寶多年來(lái)在真空行業(yè)積累的經(jīng)驗(yàn),使其成為高性?xún)r(jià)
比,快速且穩(wěn)定的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀機遇與挑戰。
若檢漏儀需要頻繁地維修或維護(hù)就很難保證它的重
復(fù)性。設(shè)計(jì)于*穩(wěn)定運(yùn)行和結(jié)合智能與自動(dòng)調(diào)整
的RBLD系列可在zui小維護(hù)的需求下提供很高的可靠
性善於監督。此外集成技術，RBLD系列是*保證離子源燈絲至少可
使用三年的檢漏儀。INFICON的三年保修期是舉世
*的更合理，它的意義遠(yuǎn)遠(yuǎn)不只是在燈絲上節(jié)省費(fèi)用適應能力。
全面的系統(tǒng)監(jiān)測(cè)和優(yōu)質(zhì)的燈絲是高在機(jī)運(yùn)行時(shí)間、
低成本各方面、溫度穩(wěn)定性和*系統(tǒng)穩(wěn)定性的重要因
素防控。
適用于大多數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的配置，RBLD系列在大多
數(shù)常用測(cè)試條件下都可提供快速和高重復(fù)性的結(jié)
果適應性詫嵒A？膳渲糜诖謾z和精檢模式,在每個(gè)模式中寬的
靈敏度范圍可使用靈活的測(cè)試技術(shù)。的線(xiàn)性特
性可在不同的漏率要求下對(duì)各部件每個(gè)漏點(diǎn)進(jìn)行無(wú)
需再校準(zhǔn)的檢漏重要作用。
RBLD系列具備完善的系統(tǒng)監(jiān)測(cè)和本機(jī)診斷功能等地。儀
器精細(xì)地監(jiān)測(cè)與控制運(yùn)行過(guò)程中的關(guān)鍵參數(shù)。診斷
碼自動(dòng)提示,提供的診斷碼結(jié)合用戶(hù)手冊(cè)便于進(jìn)行
故障查找完成的事情。*的渦輪分子泵和及其電子學(xué)單元保
證zui長(zhǎng)的在機(jī)運(yùn)行時(shí)間物聯與互聯。簡(jiǎn)單與牢固的雙流式渦輪
分子泵提供轉(zhuǎn)子位置無(wú)比的高穩(wěn)定性和抗震性，大
大地延長(zhǎng)了渦輪泵的使用壽命改造層面。
操作方式：觸摸屏中文界面
外形尺寸：RBLD201：46x87x61/RBLD301：
67x32x60（寬x高x深）厘米
質(zhì)譜儀：180°磁偏轉(zhuǎn)
燈絲：2根敷氧化釔的銥陰極
真空連接：DN16KF/DN25KF
電源電壓：AC220V（±10%）
頻率：50/60Hz
功率:RBLD201：<800W/RBLD301：<500W
zui大進(jìn)氣口壓強(qiáng):粗檢模式：1500Pa/低靈敏度（純
逆向氣流）：100Pa/高靈敏度（順流檢漏）：30Pa
預(yù)熱時(shí)間：≤3分鐘
可檢氣體：He2He3He4
zui小可檢漏率:低靈敏度（純逆向氣流）:2.0×10-
09Pam3/s供給；靈敏度（順流檢漏）:2.0×10-11
Pam3/s
測(cè)量范圍:2.0×10-11Pam3/s-------2.0×10-02
Pam3/s
響應(yīng)時(shí)間（至訊號(hào)的63%）：<1秒
