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SemiQCM™ Sensors for TDMAT Precursor Monitoring

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公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2021/2/3 16:10:41
訪問次數(shù) 573

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度保護好；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連組建，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前特點，消除后續(xù)工序深刻變革，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴和諧共生。

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好處

Real-Time, in situ process monitoring
Prevent over-etching, identify chamber clean end point
Identify equipment or process state fault

功能

QCM data monitored at 10Hz
FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
Precise measurement of deposition or etch rates
Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement

典型應(yīng)用

Semiconductor Manufacturing

規(guī)格

類型		SemiQCM Sensors for TDMAT Precursor Monitoring
Maximum Temperature		200°C
Sensor head Size (Maimum envelope)		23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)
Mounting Feedthrough		KF 40
Materials
Body and Holder		304 stainless steel
Springs		Au plated BeCu
Coaxial Line		5 mm (1.88 in.) O.D. stainless steel
Other Mechanical Parts		18-8 or 304 stainless steel, Hasloy® c276
Insulators		>99% Al2O3 in vacuum: Teflon® used elsewhere
Wire		1. Ni (in vacuum)2. Ni plated Cu (elsewhere)
Braze		Vacuum process high temperature NiCr alloy
Crystal		13.97 mm (0.550 in.) diameter

零件號

SemiQCM Sensors for TDMAT Precursor Monitoring
零件號	明細
750-7000-G5	SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM
750-7000-G6	Semi QCM Sensor Assy 60mm
750-7000-G7	Semi QCM Sensor Assy 70mm
750-7000-G8	Semi QCM Sensor Assy 80mm
750-7000-G9	Semi QCM Sensor Assy 90mm
750-7000-G10	Semi QCM Sensor Assy 100mm
750-7000-G11	Semi QCM Sensor Assy 110mm
750-7000-G12	Semi QCM Sensor Assy 120mm
750-7000-G13	Semi QCM Sensor Assy 130mm
750-7000-G14	Semi QCM Sensor Assy 140mm
750-7000-G15	Semi QCM Sensor Assy 150mm

耗材

SemiQCM Sensors for TDMAT Precursor Monitoring
零件號	明細
750-7013-G1S	Crystal Holder Assembly Spare
750-1090-G10	Sensor Crystals, 6MHz, SC Alloy

備件

SemiQCM Sensors for TDMAT Precursor Monitoring
零件號	明細
007-023	陶瓷夾持器
750-171-P1	指形彈簧觸點
750-7005-G1S	Crystal Holder and Retainer Spring Spare Assembly

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