半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發(fā)至生產(chǎn)中深入。適用于MEMS技術研究、傳感器、開關開展研究、微測熱輻射計或真空封裝的任何產(chǎn)品結論。可根據(jù)客戶需求進行定制質生產力，以滿足各種應用和預算適應性強。 半自動探針系統(tǒng)將在真空環(huán)境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓先進的解決方案。該系統(tǒng)是使用SemiProbe的PS4L自適應架構構建的拓展。所有關鍵模塊都是可互換的，以提供*的靈活性宣講活動。

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 產(chǎn)品描述：

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用PS4L技術制造了一系列真空探測系統(tǒng)不斷進步，可在真空環(huán)境中測試晶片或基板。此外效率，單個模具和破損/部分晶圓可以用真空探測系統(tǒng)進行測試規模。所有關鍵模塊都可以更換和升級。SA-xVP半自動真空探針臺可用于芯片、部分晶圓和整個晶圓（200mm以下）的研發(fā)至生產(chǎn)中發展目標奮鬥。該真空探針臺是MEMS技術先進、傳感器、開關延伸、微測熱輻射計或真空封裝產(chǎn)品的理想選擇健康發展。可根據(jù)客戶需求進行定制大數據，以滿足各種應用和預算長效機製。

Probe System for Life (PS4L) 探針臺：

Semiprobe半自動真空探針臺-半自動真空光電探針臺-高低溫真空探針臺 采用了SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構設計，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設備資金費用數字技術。與傳統(tǒng)的探針臺相比奮戰不懈，SemiProbe 的 PS4L 探針臺中所有的基礎模塊-基座，支架,卡盤措施，顯微鏡裝置有所增加，顯微鏡移動，光學組件更高要求，操縱器等都是可以更換的。這使得 PS4L探針臺以極低的價格便可滿足多種應用需求新技術，為客戶提供了完美的解決方案共同學習。更重要的是，PS4L可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進行現(xiàn)場升級以滿足新的要求深入。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸效高，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L也無需重新更換新的平臺基礎，便可用短的時效和的費用完成有效的測試性能。

真空系統(tǒng)：

半自動探針系統(tǒng)將在真空環(huán)境中測試200mm以下的晶圓或基板。也可以測試單個芯片和破碎/部分晶圓對外開放。該系統(tǒng)是使用SemiProbe的PS4L自適應架構構建的技術創新。所有關鍵模塊都是可互換的，以提供*的靈活性資料。該系統(tǒng)非常適合于研究廣泛應用、實驗室或試生產(chǎn)應用M向協同？筛鼡Q的模塊使其易于轉換哪些領域，為各種應用提供測試解決方案-直流、高頻不斷創新、光電建立和完善、微機電系統(tǒng)、納米技術等等。該系統(tǒng)易于定制大型，以滿足各種應用和預算基石之一。所有模塊都是可更換的，可以根據(jù)需要添加許多附件能力建設。有幾種不同類型的真空泵和控制器可滿足各種真空度模樣。

技術參數(shù)：

型號：SA-4VP

• 晶圓/基板尺寸：100mm
• 晶圓卡盤：可達100mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：105 mm x 105 mm

型號：SA-6VP

• 晶圓/基板尺寸：150mm
• 晶圓卡盤：可達150mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：155 mm x 155 mm

型號：SA-8VP

• 晶圓/基板尺寸：200 mm
• 晶圓卡盤：可達200mm
• 卡盤支架行程（X,Y)：205 mm x 205 mm

• 精確度：+/- 3.0μm
• 分辨率：0.1 μm
• 重復精度：+/- 0.5 μm
• Z軸行程：15mm
• Z軸分辨率：0.5μm
• Z軸重復精度：+/- 1.5 μm
• θ轉軸：+/- 4度
• 電動機：帶編碼器的直流步進電動機
• 卡盤支架的真空吸力：10^-5 torr
• 信號和驅動隔板：同軸高效、三軸或25針D連接器
• 設備觸點：多8個可編程操縱器（要求選擇腔室頂部）
• 探針卡：圓形或矩形-工業(yè)標準4.5“x 12”
• 腔室頂部：2個標準腔室頂部-探針卡應用的平頂部和可編程操縱器應用的高頂部
• 熱卡盤：尺寸和溫度可選應用創新。典型:-65^oC-300^oC
• 光學元件/顯微鏡移動：50x50mm(標準)-手動或可編程
• 光學元件Z軸行程：50mm-100mm – 手動、氣動或可編程
• 光學元件/顯微鏡：立體變焦機構、復合變焦的特性、變焦管、AZoom
• 變焦范圍：2x-40x基礎，取決于所選的顯微鏡
• 放大倍數(shù)：7x-400x提供堅實支撐，取決于所選的顯微鏡
• 精密真空控制：MKS儀器精密真空控制提供100torr – 1mtorr的真空度控制
• 真空泵系統(tǒng)：雙極泵系統(tǒng)，降至10-6 torr
• 泵類型：旋轉葉片高產、渦旋信息化技術、渦輪分子或TPS緊湊型（粗加工和渦輪分子）

配件：

• 操縱器、探針臂良好、探針頭逐步顯現、探針卡夾、CCTV系統(tǒng)引領、激光切割機自動化裝置、
• Polytec MSA-500運動分析儀、紅外黑體應用前景、熱卡盤

PILOT軟件顯示:

PILOT軟件主屏幕顯示與導航儀和晶圓映射模塊開展攻關合作，顯微鏡和操縱器控制和集成視頻顯示