Q300T ES Plus大腔室高真空離子濺射和熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀

Q300T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的鍍膜系統(tǒng)。作為成功的Q系列濺射/碳鍍膜儀家族的一員體製，Q300T ES Plus是一個大腔室渦輪分子泵抽真空的鍍膜系統(tǒng)構建，非常適合在大直徑樣品或多個較小試樣上進行金屬蒸發(fā)鍍膜，Q300T ES Plus還配備了可互換的濺射頭和碳蒸發(fā)頭服務延伸。

Q300T ES Plus在大的工作腔室內(nèi)組合了離子濺射覆蓋、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍系統(tǒng)。鍍膜頭可以在數(shù)秒鐘內(nèi)更換明確相關要求，智能邏輯系統(tǒng)自動識別哪個鍍膜頭已就位重要意義，并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置。渦輪分子泵真空系統(tǒng)深化涉外，電容觸摸屏控制體系，高分辨率離子濺射鍍膜、高真空碳棒鍍膜/金屬蒸發(fā)鍍膜開展試點；設(shè)有LED狀態(tài)指示燈攜手共進。標配快速釋放離子濺射鍍膜頭和直徑57mm x 0.1mm的鉻靶、快速釋放金屬蒸發(fā)鍍膜頭推進一步，鍍膜頭可互換經過。標配直徑50毫米的晶圓樣品臺。配有用于高真空測量的全量程真空規(guī)組件力度。

有關(guān)采用三靶鍍制大面積相同材料的膜層明確了方向，請參閱Q300T T Plus。其它大腔室鍍膜儀勇探新路，請參閱K975X/K975S以及Q300T D Plus單產提升。

儀器特點：

•   電容式觸摸屏，靈敏度高試驗，更易觸控使用

•   用戶界面軟件全面更新勞動精神，使用現(xiàn)代智能手機技術(shù)界面

•   全面的文字幫助頁面

•   USB接口可輕松進行軟件更新，也可將配方文件備份/復制到USB存貯器

•   log文件格式為.csv製度保障，內(nèi)含日期預下達、時間和工作參數(shù)，可導出至Excel或類似軟件中分析

•   允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案統籌推進，并可根據(jù)近的使用情況來排列每個用戶的配方

•   雙核ARM處理器方案，可實現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示關鍵技術；帶觸摸屏按鈕的全圖形界面，包括近使用的1000個鍍膜日志和維護到期時的提醒等功能

•   全量程真空規(guī)

•   集成的離子濺射深入、金屬蒸發(fā)和碳蒸鍍一體化系統(tǒng)

•   可選膜厚監(jiān)控附件（FTM）表現，可選高腔室

•   大而多色的LED指示燈，實現(xiàn)可視化狀態(tài)指示深刻變革；程序完成后具有音頻聲音提示

*應(yīng)用：

•   在大直徑樣品或多個較小試樣上進行金屬蒸發(fā)鍍膜

•   高分辨鍍膜，SEM應(yīng)用

•   EDX, WDS, EBSD鍍碳

Q300T ES Plus是英國Quorum出品的認可的Q系列鍍膜儀的一部分部署安排，數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀搖籃。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案推廣開來，Q系列功能多樣推動、價格合理且易于使用。這些產(chǎn)品科研用途資源配置。

Q Plus系列鍍膜儀也有較小腔室的版本信息，請參閱：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus大力發展；SC7620和Q150GB也是可選的型號豐富內涵。