基于SEM/FIB改裝的NPGS V9.1電子束曝光系統(tǒng)

　　1)NPGS以既有的SEM完成的事情、STEM或FIB等為基礎(chǔ)深度，外加電子束控制系統(tǒng)帶動擴大，透過(guò)電腦界面控制電鏡中電子束的矢量掃描，以直接刻寫圖形與時俱進。

　　2)NPGS系統(tǒng)兼具原SEM的觀測(cè)功能性能。不影響SEM本身功能。

　　3)功能強(qiáng)大綜合運用、操作簡(jiǎn)便供給、使用靈活。

　　4)NPGS和當(dāng)今主流的SEM或FIB等均可配套實事求是。

　　NPGS V9.0是一個(gè)可以控制掃描電鏡電子束的軟件程序進行探討。基于電鏡的電子束曝光簡(jiǎn)單分為兩部分：刻寫設(shè)計(jì)和圖形運(yùn)行∽钚?？虒懺O(shè)計(jì)是通過(guò)NPGS隨機(jī)提供的DesignCAD程序來(lái)做倍增效應。此CAD程序已經(jīng)過(guò)修改，增加了用于電子束曝光的命令製造業。圖形運(yùn)行包括設(shè)定參數(shù)優化服務策略，用于NPGS計(jì)算圖形上每個(gè)點(diǎn)的位置以及曝光時(shí)間。

　　NPGS硬件板卡：定制的微影板卡是基于一個(gè)計(jì)算機(jī)工作站內(nèi)部高速PCIe插槽安裝的發展基礎。主要特點(diǎn)是：

　　1. 采用16位高速數(shù)模轉(zhuǎn)換輸出兩個角度入手，X、Y雙通道同時(shí)輸出同期，同步掃描頻率5 MHz生產效率，兼容6MHz，電子束駐留時(shí)間小增量0.5納秒效果，且所有頻率下均能達(dá)到這個(gè)分辨率使用。

　　2. 刻寫掃描方式：矢量掃描方式和位圖掃描方式。

　　3. 集成的電子束閘控制輸出密度增加。

　　4. 圖像獲取采用集成的16位模數(shù)轉(zhuǎn)換輸入有效性。

　　5. 基于PCIe插槽，安裝方便高端化，運(yùn)行可靠力量。

　　電子束阻斷器(束閘)：電場(chǎng)型高速束閘。NPGS系統(tǒng)也支持無(wú)束閘運(yùn)行提單產。

　　皮可安培計(jì)：基于SEM的電子束曝光系統(tǒng)需要一個(gè)皮安計(jì)深入實施，它可精確讀出轟擊樣品的電子束束流。通常發展空間，需要從電鏡載物臺(tái)外接一個(gè)皮安計(jì)與樣品電流輸出相連效果。

　　電鏡束流：NPGS能可選連接控制法拉第杯和/或從皮可安培計(jì)讀數(shù)，但大多數(shù)用戶會(huì)采用手動(dòng)控制的法拉第杯和皮可安培計(jì)足了準備。

　　電鏡參數(shù)及電動(dòng)臺(tái)控制：免費(fèi)提供幾款通用的電鏡數(shù)字驅(qū)動(dòng)程序及載物臺(tái)驅(qū)動(dòng)程序合作關系。如果有串口通訊協(xié)議，本系統(tǒng)支持任何外部控制深刻內涵。