Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔日漸深入、灰化動力、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品互動式宣講，去除光刻膠效高性，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化自動化，激活聚合物提升、金屬和陶瓷表面官能團(tuán)，獲得表面親水性不折不扣，提高鍵合強度和可印刷性支撐能力，促進(jìn)科研生物相容性「咝Ю?？杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源特征更加明顯，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿長效機製，也可清潔石墨烯、碳納米管數字技術、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品奮戰不懈。

Tergeo系列臺式等離子清潔儀

Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化措施、刻蝕等功能大大縮短，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠緊密相關，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤更默契了，進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化，激活聚合物培訓、金屬和陶瓷表面官能團(tuán)不合理波動，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性重要工具，促進(jìn)科研生物相容性積極拓展新的領域。可集成浸入式和遠(yuǎn)程式兩種等離子源更優質，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿競爭力所在，也可清潔石墨烯、碳納米管領域、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品溝通機製。

Tergeo系列具有三種型號：

1）Tergeo 等離子清潔儀：這是一款經(jīng)濟(jì)實用的等離子清潔儀。

2）Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀：這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀註入新的動力，可清潔寬達(dá)150mm的樣品領先水平。

3）Tergeo-EM等離子清潔儀：用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴尽?/font>

儀器特點：

• Tergeo系列是能在一個系統(tǒng)中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。

Tergeo-EM標(biāo)配雙等離子源雙重提升、并且具有清潔TEM樣品桿的功能戰略布局；其余兩款

標(biāo)配浸入式等離子源，用于樣品表面清潔求索、蝕刻讓人糾結、灰化，可選遠(yuǎn)程式等離

子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化穩定發展。

• 采用離子體強度傳感器技術(shù)基石之一，實現(xiàn)實時定量測量等離子強度

• 13.56MHz射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調(diào)諧增持能力，雙源版本可脈沖工作

• 直觀的觸摸屏用戶界面共同努力，可儲存20條用戶程序，全自動運行

• 采用MFC(質(zhì)量流量控制器)調(diào)節(jié)的氣體輸送控制

• 高純石英樣品腔室和樣品托

*應(yīng)用：

• 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔

• 清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染

• 親水性或疏水表面潤濕性等離子處理

• 增強環(huán)氧樹脂/膠水粘合強度

• 用于清潔光學(xué)逐漸完善、激光參與能力、通訊用玻璃和光纖頭

• 改善MEMS微流體器件的潤濕性

• 蝕刻光刻膠

• 剝除被膜，用于失效分析

• 隱形眼鏡是目前主流、科研植入物等類型科研的表面處理和激活

實驗結(jié)果的一致性和可重復(fù)性對于科研和生產(chǎn)運行是至關(guān)重要的充分發揮。因此，

我們集成了多種過程控制技術(shù)來監(jiān)測和控制關(guān)鍵參數(shù)充分發揮，如等離子體傳感

器選擇適用、壓力傳感器和氣體輸入的自動質(zhì)量流量控制器。Tergeo等離子清洗

機(jī)的操作是全自動的設計。直觀的用戶界面業務指導，加上7英寸的觸摸屏，使本系

列儀器的操作像智能板一樣簡單就此掀開。嵌入微控制器支持20個可定制的配方

程序長足發展。Tergeo系列等離子體處理系統(tǒng)采用*的工藝控制技術(shù)，可為不

同用戶提供重復(fù)的日常運行性能不斷豐富。

Tergeo系列臺式等離子蝕刻和表面清潔系統(tǒng)可用于研究實施體系、開發(fā)等應(yīng)用。TEM用戶創新的技術，請選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀發揮；TEM和SEM及其它用戶也可查看EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔系統(tǒng)。對于樣品桿儲存等應(yīng)用快速增長，可選用多用途樣品清潔及儲存腔室。