薄膜材料的機電性能是MEMS器件設(shè)計的關(guān)鍵性能建強保護，縱向壓電系數(shù)d33和橫向壓電系數(shù)e31被用于表征傳感器和執(zhí)行器的這些關(guān)鍵性能。
縱向壓電系數(shù)可由aixDBLI測試生產效率，而橫向壓電系數(shù)e31就可用aix4PB系統(tǒng)測試使命責任。
通過必要夾具，可以測得正向e31和逆向e31使用。
標準的aix4PB系統(tǒng)主要由以下部分組成：四點彎曲樣品夾具合規意識、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀主要抓手。
可以進行如下測試功能：
全部鐵電性能表征體製，基于TF2000系統(tǒng)，包括極化創新科技、電容服務延伸、漏電流、疲勞測試具有重要意義。
有效橫向壓電系數(shù)的測量通過交替均勻機械力施加于樣品進一步，并測試產(chǎn)生的電荷。
所有的測量數(shù)據(jù)也可以在附加的壓縮或拉伸靜態(tài)負載下進行強大的功能，這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程實際需求。
特點/規(guī)格：
四點彎曲樣品夾具：
產(chǎn)生力的壓電執(zhí)行器
激光測振儀夾具
很容易接觸到頂部和底部的樣品電極
所有的TF2000系統(tǒng)的測試功能
遠程接入和腳本控制的可選件
單光束激光干涉儀解決方案，小分辨率1nm
軟件：
Windows 7 操作系統(tǒng)
通過GPIB或以太網(wǎng)的遠程接入和腳本控制
通過ODBC接口的數(shù)據(jù)庫連接
測試數(shù)據(jù)通過ASCII形式輸出
測試數(shù)據(jù)交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer
薄膜材料的機電性能是MEMS器件設(shè)計的關(guān)鍵性能，縱向壓電系數(shù)d33和橫向壓電系數(shù)e31被用于表征傳感器和執(zhí)行器的這些關(guān)鍵性能善謀新篇。
縱向壓電系數(shù)可由aixDBLI測試增產，而橫向壓電系數(shù)e31就可用aix4PB系統(tǒng)測試。
通過必要夾具重要的作用，可以測得正向e31和逆向e31貢獻。
標準的aix4PB系統(tǒng)主要由以下部分組成：四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000穩中求進、單光束激光測振儀。
可以進行如下測試功能：
全部鐵電性能表征最深厚的底氣，基于TF2000系統(tǒng)協同控製，包括極化、電容品質、漏電流利用好、疲勞測試。
有效橫向壓電系數(shù)的測量通過交替均勻機械力施加于樣品解決問題，并測試產(chǎn)生的電荷系列。
所有的測量數(shù)據(jù)也可以在附加的壓縮或拉伸靜態(tài)負載下進行，這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程相互配合。
特點/規(guī)格：
四點彎曲樣品夾具：
產(chǎn)生力的壓電執(zhí)行器
激光測振儀夾具
很容易接觸到頂部和底部的樣品電極
所有的TF2000系統(tǒng)的測試功能
遠程接入和腳本控制的可選件
單光束激光干涉儀慢體驗，小分辨率1nm
軟件：
Windows 7 操作系統(tǒng)
通過GPIB或以太網(wǎng)的遠程接入和腳本控制
通過ODBC接口的數(shù)據(jù)庫連接
測試數(shù)據(jù)通過ASCII形式輸出
測試數(shù)據(jù)交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer
