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MDL900 大量程超高純氣體稀釋裝置

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根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置問題,稀釋范圍從(100-10000)倍逐漸顯現,流量輸出(0.5-5)L/min,具有兩元或多元稀釋模式系統穩定性。

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DL900  大量程超高純氣體稀釋裝置
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置拓展基地,稀釋范圍從(100-10000)倍,流量輸出(0.5-5)L/min實力增強,具有兩元或多元稀釋模式體系流動性。裝置中采用進(jìn)口熱式流量控制器,并經(jīng)高精度流量計校準(zhǔn)帶來全新智能,流量偏差可控制在0.5%以內(nèi)實現了超越,重復(fù)性小于0.2%,線性擬合系數(shù)R2>0.9999去完善,稀釋裝置精度小于2%橋梁作用。

裝置優(yōu)勢:1、裝置內(nèi)部管線采用VCR與焊接相結(jié)合求索,具有非常好的密封性讓人糾結,可適用于高純及超高純氣體稀釋;

          2空間廣闊、裝置稀釋范圍大至關重要,稀釋比例可達(dá)105倍提供深度撮合服務;
          3、節(jié)省載氣 戰略布局,可在出口氣體流量不變的情況下事關全面,進(jìn)行高倍數(shù)稀釋;
          4狀態、允許稀釋后氣體有一定背壓(0.5MPa以內(nèi))技術節能,適合有進(jìn)樣壓力要求的儀器使用。


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