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立式球面激光干涉儀VT750/VT1000/VT1200是德國XONOX公司生產(chǎn)的4或6英寸球面激光干涉儀註入了新的力量，采用立式測量結(jié)構(gòu)，更適合于車間現(xiàn)場測量使用更多可能性。
XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點：
---高精密氣浮隔震系統(tǒng)去創新，適合于光學加工車間現(xiàn)場檢測
---采用氣浮垂直移動導軌，移動快速準確緊迫性，*大移動范圍1200mm結構，直線度可達3um
---可選裝經(jīng)濟型的4寸干涉儀主機，配置靜態(tài)光圈測量分析軟件多元化服務體系，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的樣本檢測規劃，方便快捷，DIN或ISO測量結(jié)果顯示深度。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機，ZYGO專業(yè)測量分析軟件核心技術體系，適合更優(yōu)異用戶使用開拓創新。
---配置線性光柵尺，曲率半徑測量精度+/-3um必然趨勢；小曲率半徑測量裝置可選促進善治，測量精度+/-1um（+/-60mm測量范圍）
---配置XONOX 4+測量物鏡擴大，*大測量口徑為130mm，曲率半徑測量范圍可達1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用發揮效力，無需額外配置
詳細技術(shù)參數(shù)：
| 工作范圍 | 750mm / 1000mm / 1200mm垂直移動范圍新格局，測量口徑130mm或150mm |
| 激光測量單元 | XONOX Z100 4”菲索干涉儀或ZYGO VeriFire XPZ干涉儀主機，6倍光學變焦 |
| 測量系統(tǒng) | 優(yōu)良測量安全鏈，數(shù)字顯示顯示；小半徑特殊測量裝置（選項） |
| 曲率半徑測量精度 | +/-1um（根據(jù)所使用的測量系統(tǒng)） |
| 外形尺寸 | 800X900X1900mm |
| 重量 | 450Kg |
| 電壓 | 110V-220V, 50-60Hz；16A |
| 氣壓 | 6 bar |
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