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FRT薄膜厚度測量儀

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FRT薄膜厚度測量儀采用膜層厚度測量傳感器更加完善,非接觸測量表面膜層形式,測量范圍從10nm--250um,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶片支撐作用、光學鍍膜加工日漸深入、漆膜、氧化表面層測量同時。

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FRT薄膜厚度測量儀

薄膜層厚測量傳感器 FTR

薄膜層厚測量傳感器FTR為的膜層測量儀器互動式宣講,通過于MicroProfMicroGlider 型結(jié)合使用,可應(yīng)用于各種高精度的測量場合設計標準,其層厚分辨率可達1nm開展;非接觸無損測量更拓寬了其應(yīng)用場合;如光學鍍膜加工(膜層厚度發揮重要帶動作用、消光系數(shù)等參數(shù))意向;半導(dǎo)體硅片表面膜層分析;氧化表面微細分析文化價值、漆膜等等

薄膜層厚測量傳感器FTR技術(shù)參數(shù):

測量原理

反射測量(非接觸)

光源

鹵素燈

-鹵素燈

波長范圍

400—850nm

650—1100nm

400—1100nm

250nm—850nm

250—1100nm

層厚測量范圍

50nm-20um

70nm-70um

50nm-100um*

10nm-20um

10nm-70um

層厚分辨率

1 nm

X,Y軸分辨率

0.1um

注:*----可選1um—250um


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