納米壓印技術(shù)突破了傳統(tǒng)光刻在特征尺寸減小過程中的難題生產體系，具有分辨率高服務、低成本、高產(chǎn)率的特點(diǎn)能力和水平。自1995年提出以來覆蓋，納米壓印已經(jīng)經(jīng)過了14年的發(fā)展，演變出了多種壓印技術(shù)研究，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造高效、mems、生物芯片提高、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域機構。被譽(yù)為改變?nèi)祟惖募夹g(shù)之一。
NIL壓印機(jī)的基本思想是通過模版交流，將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上基礎，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形還不大。整個(gè)過程包括壓印和圖形轉(zhuǎn)移兩個(gè)過程高產。根據(jù)壓印方法的不同，NIL主要可分為熱塑（Hot embossing）發揮作用、紫外固化UV和微接觸（Micro contact printing良好， uCP）三種光刻技術(shù)。

二銘記囑托、 功能

l 主要功能

納米壓印機(jī)的主要功能是將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上引領，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形試驗。壓印技術(shù)主要分為以下兩種：

熱壓：首先在襯底上涂上一層薄層熱塑形高分子材料（如PMMA）勞動精神。升溫并達(dá)到此熱塑性材料的玻璃化溫度Tg（Glass transistion temperature）之上開展攻關合作。熱塑性材料在高彈態(tài)下製度保障，將具有納米尺度的模具壓在上面預下達，并施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ瑹崴苄圆牧蠒畛淠＞咧械目涨唤y籌推進，模壓過程結(jié)束后提升，溫度降低使熱塑性材料固化，從而得到與模具的重合的圖形的必然要求。隨后移去模具研究成果，并進(jìn)行各相異性刻蝕去除殘留的聚合物。接下來進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移完善好。圖形轉(zhuǎn)移可以采用刻蝕或者剝離的方法大面積。刻蝕技術(shù)以熱塑性材料為掩膜問題分析，對其下面的襯底進(jìn)行各向異性刻蝕培養，從而得到相應(yīng)的圖形。剝離工藝先在表面鍍一層金屬更加完善，然后用有機(jī)溶劑溶解掉聚合物形式，隨之熱塑性材料上的金屬也將被剝離，從而在襯底上有金屬作為掩膜支撐作用，隨后再進(jìn)行刻蝕得到圖形日漸深入。

紫外壓印：為了改善熱壓印中熱變形的缺點(diǎn)同時，特克薩斯大學(xué)的C. G. willson和S. v. Sreenivasan開發(fā)出步進(jìn)-閃光壓踊邮叫v。⊿tep- Flash Imprint Lithography），這種工藝中采用對紫外透明的石英玻璃（硬模）或PDMS（軟模）產能提升，光阻膠采用低粘度適應性，光固化的單體溶液。先將低粘度的單體溶液滴在要壓印的襯底上通過活化，結(jié)合微電子工藝落地生根，薄膜的淀積可以采用旋膠覆蓋的方法，用很低的壓力將模版壓到晶圓上健康發展，使液態(tài)分散開并填充模版中的空腔有效保障。透過模具的紫外曝光促使壓印區(qū)域的聚合物發(fā)生聚合和固化成型。后刻蝕殘留層和進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移長效機製，得到高深寬比的結(jié)構(gòu)講實踐。后的脫模和圖形轉(zhuǎn)移過程同熱壓工藝類似。

l 技術(shù)特點(diǎn)

l 技術(shù)能力

該設(shè)備的發(fā)明人2001年至 2003 年取得顯著成效，在納米壓印技術(shù)發(fā)明人新模式、 美國普林斯頓大學(xué) StephenY.Chou 教授的納米結(jié)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室作為研究助理進(jìn)行了為期 3 年的研究工作實現，發(fā)展了紫外光固化納米壓印工藝與材料，對納米壓印技術(shù)的發(fā)展做出了重要的貢獻(xiàn)組織了。2004 年加入材料科學(xué)與工程系后繼續(xù)圍繞納米微加工技術(shù)與納米壓印技術(shù)開展研究工作服務體系，研發(fā)了數(shù)種新型納米壓印材料，發(fā)展了新型高分子壓印模板搶抓機遇，提出了曲面納 米壓印技術(shù)分析；利用 863 課題“紫外光固化和熱壓兩用納米壓印設(shè)備的研制與應(yīng)用”項(xiàng)目的支持，研制成功具有紫外光固化和熱壓功能兩用納米壓印設(shè)備全面闡釋，現(xiàn)已成為產(chǎn)品非常激烈，并被南京大學(xué)、北京航空航天大學(xué)引人註目、國防科技大學(xué)實力增強、黑龍江大學(xué)、中科院深圳研究院等多家高校和科研機(jī)構(gòu)所采用探索創新，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的納米壓印核心技術(shù)帶來全新智能，申請和獲得了多項(xiàng)中國與美國，技術(shù)水準(zhǔn)與當(dāng)前該水平同步新產品。