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GPC-100A精確磨拋控制儀

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產(chǎn)品簡介:GPC-100A精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀大數據,主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度長效機製,使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量優(yōu)良的不銹鋼材料制成數字技術,外形美觀奮戰不懈,制造工藝*,主要適用于UNIPOL-1202措施、UNIPOL-1502研磨拋光機上大大縮短,是工件進行磨拋時*的精密磨拋器具,尤其適用于晶圓樣品緊密相關、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨更默契了。GPC-100A精確磨拋控制儀載樣塊用螺紋與控制儀進行連接,試樣裝卡方式為真空吸附培訓,并配有數(shù)顯厚度測量儀不合理波動,可實時監(jiān)測樣品減少的厚度,承載樣件直徑不大于103mm重要工具、厚度不大于13mm具有工藝重復性高的優(yōu)點前沿技術。

 

 

產(chǎn)品名稱

GPC-100A磨拋控制儀

產(chǎn)品型號

GPC-100A

主要特點

可嚴格控制被磨樣品表面的平行度和平面度,控制準確度高性能。研磨過程中可搭配數(shù)顯測厚儀使用多種方式,隨時觀測樣品磨削量,尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用技術創新。

技術(shù)參數(shù)

1深入交流研討、載樣盤直徑:Ø103mm

2、載樣盤軸向行程:12mm

3廣泛應用、數(shù)顯表精度:0.001mm

4關註度、載樣盤可調(diào)加載壓力:0.1kg-2.1kg

5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

6哪些領域、樣品裝卡方式:真空吸附

7敢於挑戰、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、厚度≤12mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:外徑146mm建立和完善,高266mm

標準配件

1提供了遵循、真空泵

2、過濾

3穩定發展、底座

4基石之一、玻璃片


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