微量氣體分析儀 它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 （N2共享、O2信息化、He、Ar生動、H2新型儲能、Air） 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 （檢測感度可至10ppb） 連續(xù)檢測的裝置新品技。由于采用了交替流動調制方式範圍，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測廣度和深度，所以沒有零點漂移，能夠獲得*穩(wěn)定的檢測值引領作用。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中顯示，所以系統(tǒng)升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理 效率和安。

產品介紹

微量氣體分析儀 

產品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分設計能力，2種成分可同時以數字形式顯示濃度。

采用了交替流動調制方式深入開展，沒有零點漂移更為一致，可以獲得*穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。

不需要進行光學調整技術的開發，維護性得到了提高研究與應用。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）更高效、失火報警（GA-360E）全面協議、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時采取措施具體而言。

微量氣體分析儀 

產品技術規(guī)格