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參考價(jià) | 面議 |
- 公司名稱 浚和(上海)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2020/9/29 17:13:56
- 訪問(wèn)次數(shù) 420
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潔凈度100級(jí)保持穩定、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等日漸深入。 型號(hào) DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C 方式 氮?dú)庵脫Q+ 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán) 性能 使用溫度范圍 室溫+50~360℃ 室溫+50~500℃ 溫度調(diào)節(jié)精度 ±0.5℃(at360℃) ±1.0℃(at500℃) 溫度分布精度 ±5.0℃(at360℃) ±8.0℃(at500℃) 溫度到達(dá)時(shí)間 約80分鐘 約110分鐘 氧濃度 20ppm 以下 氧濃度到達(dá)時(shí)間 ≤ 20分(250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 25分(250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 20分(250L/min 氮?dú)猓?/span> ≤ 25分(250L/min 氮?dú)猓?/span> 潔凈度 溫度恒定時(shí)100級(jí) 構(gòu)成 內(nèi)裝 不銹鋼板 外裝 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝 斷熱材 硅酸鋁棉 加熱方式 不銹鋼加熱管 加熱功率 主加熱器 6.75KW 9KW 9.5KW 14.2KW N2預(yù)熱 1KW 冷卻機(jī)構(gòu) 不銹鋼冷卻水換熱器 HEPA過(guò)濾器 集塵效率:0.3um粒子99.97%以上 控制器 溫度控制方式 PID控制 溫度控制器 液晶觸摸屏+PLC 運(yùn)行功能 手動(dòng)定值運(yùn)行更優質、自動(dòng)程序運(yùn)行 程序模式 程序運(yùn)行9個(gè)相對開放,每個(gè)程序可設(shè)置9步(可擴(kuò)展) 附加功能 操作員等級(jí)認(rèn)證 加熱器回路控制 SSR驅(qū)動(dòng) 傳感器 K型熱電偶(溫度控制及過(guò)升防止器) 安全裝置 門檢測(cè)開(kāi)關(guān)、過(guò)升防止器脫穎而出、氧濃度異常溝通機製、N2 預(yù)熱溫度過(guò)升、水壓低檢測(cè)註入新的動力、N2 壓力低檢測(cè)領先水平、冷卻水流量檢測(cè)、N2 流量檢測(cè)雙重提升、 風(fēng)機(jī)過(guò)載檢測(cè)戰略布局、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等 規(guī)格 內(nèi)尺寸(寬×深×高mm) 450×450×450 660×500×660 450×450×450 660×500×660 外形尺寸(寬×深×高mm) 1090×950×1540 1300×1000×1750 1240×1010×1750 1450×1060×1960 內(nèi)容積 91L 216L 91L 216L 棚板層數(shù)/層間距 12層/30mm 19層/30mm 12層/30mm 19層/30mm 排氣口 40KF法蘭 氮?dú)馊肟?/span> Rc1/2 冷卻水入口 Rc3/4 熱水出口 Rc3/4,2個(gè) 電源(50/60Hz)額定電流 3相AC380V 16A 3相AC380V 19A 3相AC380V 20A 3相AC380V 27A 重量 約900kg 約1100kg 約900kg 約1100kg 選購(gòu)品 棚板表現明顯更佳、真空泵狀態、溫度記錄儀規模、組合警示燈(待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障)、以太網(wǎng)通信功能
特點(diǎn)
● 工作溫度360℃和500℃動力、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm互動式宣講,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI效高性、PBO固化)模式、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等提升。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器高品質,箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí),可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤支撐能力。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造資源優勢,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2消耗量極低特征更加明顯。
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性估算,并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫數字技術,升降溫速率可調(diào)節(jié)奮戰不懈。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收措施。
● 液晶觸摸屏操作大大縮短,自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。
安全性
● 擁有門檢測(cè)開(kāi)關(guān)緊密相關、溫度過(guò)升防止器更默契了、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)培訓、氮?dú)饬髁繖z測(cè)不合理波動、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器重要工具、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等安裝裝置積極拓展新的領域。
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