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紫外臭氧清洗儀（UV/Ozone ProCleaner™ and ProCleaner™ Plus ）
美國Biofore公司的ProCleaner的產(chǎn)品線提供非常有競爭力的價位自主研發，并給研究者提供更多的選擇機會確定性。該ProCleaner ™裝置的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線損耗。UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單講故事、經(jīng)濟、快速獲得超潔凈的表面性能穩定，去除大多數(shù)無機基材（比如石英全面革新、硅片、金屬情況正常、玻璃行業分類、云母、石英提高鍛煉、陶瓷發展邏輯、聚合物等）上的有機污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時有所提升，紫外清洗非常理想聽得進。要獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后先進水平，再用紫外臭氧清洗機處理幾分鐘就可以了便利性。
美國Biofore紫外臭氧消毒機 PC440紫外臭氧消毒儀 UV/Ozone ProCleaner™ Plus紫外臭氧消毒機 PC450紫外臭氧消毒機 UV/Ozone ProCleaner™ 紫外臭氧消毒儀ProCleaner紫外臭氧清洗儀的特點:：
1、間歇式燈泡工作方式重要平臺。燈和定時器通過關(guān)閉門來觸發(fā)
2緊迫性、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進快速氧化結構重塑，去除微量的有機殘留物聽得懂。
3、全面UV保護讓設(shè)備操作更安全
4高質量發展、操作簡單：設(shè)定定時器全方位，打開門空白區，抽出托盤使命責任，將元件放在托盤上更加廣闊。將托盤滑入并關(guān)閉門
5重要意義、為實驗室節(jié)省開支，使探針和樣品可重新使用
6統籌、堅固耐用技術先進，結(jié)構(gòu)緊湊（體積斜憩F。?/span>
7、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV堅定不移，促進快速氧化組合運用，去除微量的有機殘留物。
8迎難而上、室溫操作
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ProCleaner紫外臭氧清洗儀積極，應(yīng)用領(lǐng)域：
·預(yù)處理表面圖案化工具
·清潔硅和氮化硅探針
·晶圓清洗
·表面氧化及制備
·提高表面親水性
·表面清洗
·制備薄膜沉積
·紫外光固化
·表面圖案化
·清洗光學(xué)鏡頭
·粘接硅橡膠
·表面消毒
·清潔MEMS器件
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技術(shù)參數(shù)：
| 型號 | PC440 | PC450 |
| 光照尺寸 | 4" x 4" （101.6×101.6cm） |
| 有效面積: | 16 sq. in. |
| 工作區(qū)域: | 5" x 5"x1" |
| 滑行托盤: | 1 |
| 定時器: | 機械定時 | 數(shù)字設(shè)定 |
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紫外臭氧清洗工作原理：
ProCleaner紫外臭氧清洗儀的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生3254和185nm范圍的紫外線堅持先行。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生產業，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體情況較常見，比如CO2,H2O等可持續。整個過程在室溫中進行，并且只需要1到幾分鐘完成體製。
*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃構建。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層探討。這種氧化鋁在加熱情況下會轉(zhuǎn)化為他原來的顏色不負眾望。
**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度高效流通。在大多數(shù)應(yīng)用調解製度，元件溫度可以視為室溫。
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