膜沉積系統(tǒng)

控制及操作： 軟件控制數字化，自動膜沉積

沉積速度：    標準范圍0.1-75mm/min；  速度調(diào)節(jié)增量 0.1mm

沉積次數(shù)：    無限次

基片zui大尺寸：60×30mm（*浸漬）

浸漬馬達：    直流司服馬達

膜壓測量系統(tǒng)

動態(tài)范圍：    0-125mN/m

分辨率：      4μN/m

膜面積控制系統(tǒng)

表面積調(diào)節(jié)：   2個內(nèi)部移動滑障單分子層對稱壓縮

壓縮速度：     0.02mm-200mm/min

槽

尺寸：         375×75×5mm  

體積：          0.160L帶浸漬井