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GC-9560-PDD 四氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器具體而言,采用華愛公司的中心切割技術(shù)工具,進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計喜愛,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)重要的角色,保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

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GC-9560-PDD四氯硅烷分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測向好態勢,小檢測濃度可達(dá)5ppb平臺建設。四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù)貢獻力量,進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路使用;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計,并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)發行速度,保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量更加堅強。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。

 

硅(SiHCl3)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                   40025
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                                   40025
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6                                                         20050
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                          ≤——0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                      ≤——0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                            ≤——0.5
銻(Sb)含量/(µg/kg)                               ≤——0.5
銦(In)含量/(µg/kg)                              ≤——0.5
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                ≤10.5
鈉(Na)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                               ≤10.5
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
銅(Cu)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                              ≤10.5
釩(V)含量/(µg/kg)                                ≤10.5

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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