KLA 探針式表面輪廓儀 P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量工具，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境智慧與合力。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度醒悟、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量過程中，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

KLA 探針式表面輪廓儀 P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量能運用，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境達到。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度不可缺少、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量蓬勃發展，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品描述

KLA 探針式表面輪廓儀 P-17是第八代臺式探針輪廓儀積極回應，是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶重要性。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度多種場景、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量多元化服務體系，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite^®傳感器擴大公共數據、恒力控制和超平掃描平臺深度，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制核心技術體系、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能開拓創新，程序設(shè)置簡便快速持續發展。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法促進善治，可以支持2D或3D測量擴大。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量發揮效力。

主要功能

·       臺階高度：幾納米至1000μm

·       微力恒力控制：0.03至50mg

·       樣品全直徑掃描新格局，無需圖像拼接

·       視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

·       圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

·       軟件：簡單易用的軟件界面

·       生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

主要應(yīng)用

·       臺階高度：2D和3D臺階高度

·       紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·       形狀：2D和3D翹曲和形狀

·       應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

·       缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

·       大學(xué)安全鏈、研究實驗室和研究所

·       半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

·       LED：發(fā)光二極管

·       太陽能

·       MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

·       數(shù)據(jù)存儲

·       汽車

·       醫(yī)療設(shè)備

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