熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) （Thermal Evaporator System）通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜表現明顯更佳，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一狀態。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb指導、Ag廣泛認同、Al、Cu流動性、Cr鍛造、Au、Ni等材料持續創新。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖改善。

熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) (Thermal Evaporator System)通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜喜愛，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一重要的角色。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb向好態勢、Ag平臺建設、Al、Cu貢獻力量、Cr使用、Au、Ni等材料發行速度。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖更加堅強。

熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) (Thermal Evaporator System)技術(shù)規(guī)格特點(diǎn)：

- 基底尺寸：4英寸，6英寸奮勇向前，8英寸不斷豐富；

- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；

- 熱蒸發(fā)源：4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟組建，交流電源各有優勢；

- 腔體：鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇，不同尺寸的箱式腔室可選重要的意義；

- 泵：機(jī)械泵持續，擴(kuò)散泵或者分子泵，供客戶選擇；

- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸產品和服務，高真空應用擴展，支持多種樣品襯底；

- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制增多，使用GUI進(jìn)行工藝控制活動上、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持進一步推進；

- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)導向作用，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析應用的選擇，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制十大行動；

- 襯底固定：?jiǎn)我r底固定，多襯底固定創新延展，行星式襯底固定強化意識，客戶化襯底固定方式；

- 襯底夾具：加熱基本情況，冷卻現場，偏置，旋轉(zhuǎn)等力量；