ECOPIA公司的HMS系列霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)主要由恒電流源關註、范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器研究進展、低溫(77K)測量系統(tǒng)及磁場強(qiáng)度輸入系統(tǒng)組成，擁有研究半導(dǎo)體材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配置連日來，是一套非常成熟的儀器系統(tǒng)快速融入。同時HMS系列儀器獲得多項(xiàng)霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)、測量方法的*系統，代表了霍爾效應(yīng)測量的品質(zhì)及合理的產(chǎn)品價格增強，并為客戶所認(rèn)可。該產(chǎn)品2004年7月通過CE認(rèn)證適應能力。
Ecopia HMS-3000霍爾效應(yīng)測試儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
1更優美、 可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級電流范圍設(shè)置，將可以接收的誤差降到低防控；范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲成效與經驗；軟硬件有針對性的設(shè)計(jì)，確保每個實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測試的平均值堅實基礎，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性傳遞。
2融合、 產(chǎn)品小型化及操作簡單化
小尺寸的磁場強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測量系統(tǒng)(77K)，確保儀器操作非常簡單相關性；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm完成的事情、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量穩定，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對樣品損傷更小改造層面。
3、 I-V曲線及I-R曲線測量
采用圖表的方式優勢與挑戰，測量探針?biāo)狞c(diǎn)(A經驗分享、B、C趨勢、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系有力扭轉，并以此評判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性一站式服務。
4廣度和深度、 多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動計(jì)算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)引領作用、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)加強宣傳、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)用的舒心、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)技術發展、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等集成。
Ecopia HMS-3000霍爾效應(yīng)測試儀產(chǎn)品組成：
主機(jī)(精密恒電流源+范德堡法則終端轉(zhuǎn)換器) / 磁體包(包括樣品板) / 軟件等重要手段。
[HMS-3000軟件界面一]
[HMS-3000軟件界面二(I-V和I-R曲線測量)]
產(chǎn)品規(guī)格：
1、 主要儀器參數(shù)
輸入電流：1nA ~ 20mA更加廣闊；
電阻率：10exp(-5) ~ 10exp7 Ω.cm損耗；
載流子濃度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3；
遷移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec不斷發展；
磁場強(qiáng)度：0.37T, 0.55T, 1T, 0.25~1T變場磁體；
樣品測量板：PCB樣品板自動化方案，SPCB彈簧樣品板緊密協作，晶圓樣品板等；
樣品尺寸：5mmX5mm ~ 20mmX20mm (可選配30mm或2inch大樣品板)線上線下；
測量溫度：常溫發揮重要作用，77K液氮浴數據顯示；
2高質量、 軟件操作環(huán)境
XP / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下
3也逐步提升、 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
體載流子濃度、表面載流子濃度註入了新的力量；
遷移率;
霍爾系數(shù)重要的作用；
電阻率,方塊電阻；
磁致電阻去創新；
電阻的縱橫比率足夠的實力；
4、 儀器尺寸和重量
主機(jī)尺寸：360×300×105 mm (W×H×D) 磁體Kit尺寸：200×120×110 mm (W×H×D)結構；
凈重：7.7千克更適合；
5、 測量材料
Si, SiGe, SiC, ZnO, GaAs, InGaAs, InP, GaN, ITO等所有半導(dǎo)體薄膜(P型和N型)溝通協調；
參考用戶：
HMS-3000霍爾效應(yīng)儀國內(nèi)科研用戶超過了100臺要素配置改革。
清華大學(xué)、北京大學(xué)保障性、復(fù)旦大學(xué)帶動產業發展、上海交大、中國科大持續發展、浙江大學(xué)必然趨勢、哈工大、電子科大擴大、西北工大多樣性、湖南大學(xué)、中南大學(xué)規模設備、上海大學(xué)真諦所在、中科院物理所、半導(dǎo)體所競爭力、長春光機(jī)所充分、蘭州化物所、上海技物所集聚、蘇州納米所...
