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- 公司名稱 北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 北京市
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2019/4/4 16:19:15
- 訪問次數(shù) 448
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聲波(超聲波)已經(jīng)作為一種常見無損檢測手段廣度和深度,在工業(yè)或醫(yī)療領(lǐng)域的宏觀范圍內(nèi)的測試得到廣泛應(yīng)用著力增加。另一方面,我們每天使用的電子器件裝置越來越集成和復(fù)雜重要組成部分,尺寸越來越小。傳統(tǒng)的表征測試手段越來越具有局限性合作,在納米尺度范圍內(nèi)需要新的測量裝置進行材料的表征測試
簡介︰
聲波(超聲波)已經(jīng)作為一種常見無損檢測手段勃勃生機,在工業(yè)或醫(yī)療領(lǐng)域的宏觀范圍內(nèi)的測試得到廣泛應(yīng)用。另一方面極致用戶體驗,我們每天使用的電子器件裝置越來越集成和復(fù)雜提供有力支撐,尺寸越來越小。傳統(tǒng)的表征測試手段越來越具有局限性建議,在納米尺度范圍內(nèi)需要新的測量裝置進行材料的表征測試品率;
JAX采用新一代的泵浦探測pump-probe技術(shù)即異步光學(xué)采樣技術(shù)(ASynchronous OPtical Sampling Imagery System,ASOPS). 此技術(shù)源于光學(xué)外差法采樣技術(shù)不斷發展,是波爾多大學(xué)和法國CNRS共同合作開發(fā)的技術(shù)積極影響,Neta的產(chǎn)品來源于此項技術(shù)。這種*的*技術(shù)可在在納米尺度上表征材料緊密協作,而不接觸破壞樣品越來越重要。Neta使用這項技術(shù),采用*的工業(yè)設(shè)計發揮重要作用,具有優(yōu)異的性能醒悟,高可靠性和可維護性。我們的研發(fā)團隊進行了專業(yè)的工業(yè)化設(shè)計高質量,使得Neta成為一種易于使用和即插即用的產(chǎn)品也逐步提升,可以像普通顯微鏡一樣,非專業(yè)人士即可操作。
產(chǎn)品概述和特點
市場上僅有的一款即時可用ASOPS 系統(tǒng)
一鍵采集測量重要的作用;
具有Mapping成像能力更多可能性;
非破壞/無接觸探測
高分辨率和高精度
基于新一代脈沖光纖激光器
JAX 系統(tǒng)采用單路或雙路的泵浦/探測模式的飛秒激光器,重復(fù)頻域在數(shù)百兆赫茲(如下圖)積極回應。它被稱為外差法技術(shù)重要性,具有高穩(wěn)定性和高精度等優(yōu)點,允許用戶一鍵采集一個測量點的所有參數(shù)多種場景,比傳統(tǒng)技術(shù)快10 000到100 000倍多元化服務體系。頻移允許通過一個雙光源即時掃描并在數(shù)個毫秒內(nèi)獲得樣品信息,探測時間分辨率小于1ps擴大公共數據,這就是異步光學(xué)采樣技術(shù)便利性。一旦樣品上單點精確測量結(jié)束,用戶可以移動樣品并開始掃描整個表面重要平臺,以便創(chuàng)建所研究參數(shù)的Mapping成像深刻認識。
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圖1ASOPS 測量示意圖
JAX-M1進行皮秒聲波的產(chǎn)生和檢測
JAX-M1一般使用反射模式,基于正置結(jié)構(gòu)應用提升,近紅外激勵pump模式主動性。在這種模式下,由近紅外飛秒激光正面輻照樣品上表面發展的關鍵,樣品內(nèi)產(chǎn)生超聲波道路,并用另外一束飛秒激光進行聲波檢測。在圖2的示例中真諦所在,樣品是硅襯底上的250納米的鎢薄膜指導。被激發(fā)的聲波穿透鎢薄膜,當(dāng)?shù)竭_鎢和硅的界面時充分,部分聲波被反射回到表面進一步完善,并被探測激光作為回聲檢測到。聲波再次被鎢和空氣界面反射競爭力,并在結(jié)構(gòu)層中傳輸調整推進,這樣產(chǎn)生多次的回聲信號。
自動信號處理
特定開發(fā)的程序用來提取回聲信號之間的飛行時間F和衰減a機製性梗阻;從內(nèi)部接觸界面或其它亞表面非均勻聲學(xué)區(qū)域返回到表面的應(yīng)變脈沖被檢測為一系列回波信號建強保護。例如,通過薄膜來回傳播的應(yīng)變脈沖產(chǎn)生一系列衰減的回波生產效率,從中可以得到一個超聲波衰減或超聲波色散的回波使命責任,通過這些信號特征進而得到薄膜厚度。固體表面附近的折射率和消光系數(shù)受到返回的應(yīng)變脈沖的擾動使用,從而導(dǎo)致光學(xué)反射率或透射的變化(探測光的光學(xué)吸收深度內(nèi))合規意識。測量的時間回波形狀是由探測光吸收譜形狀和應(yīng)變脈沖空間輪廓的空間積分決定的密度增加。
物理屬性提取及成像
通過回波之間飛行的時間可以推斷出鎢的厚度,而回聲的衰減等信息告訴我們涂層黏附的質(zhì)量創新內容。ASOPS快速測試能力使得在合理的測試時間內(nèi)對器件的成像測試如今成為可能機遇與挑戰,ASOPS技術(shù)代替了傳統(tǒng)泵浦探測中的分散多點測試和估算。圖4這里的案例善於監督,是以50微米的空間分辨率進行了1000個點的測試集成技術。
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圖 4左側(cè):鎢層的薄膜厚度(納米);右側(cè):黏附質(zhì)量
NETA JAX應(yīng)用:
納米薄膜和納米器件的無損檢測
大量工業(yè)領(lǐng)域采用無損檢測的手段進行產(chǎn)品品質(zhì)鑒定進一步,我們的產(chǎn)品特別適合樣品微納結(jié)構(gòu)的無損大部分、非接觸式測量,獲得微納樣品的結(jié)構(gòu)性能信息實際需求。這些檢測對于半導(dǎo)體行業(yè)解決方案,光學(xué)制造或是專業(yè)涂層生產(chǎn)等領(lǐng)域是*的過程,很大程度上影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和品質(zhì)善謀新篇。例如對于兩層金屬薄膜樣品的膜厚度測量或者黏附質(zhì)量檢測增產,我們的產(chǎn)品能夠快速,精確的獲得缺陷的詳細信息方法;快速Mapping成像獲得缺陷的定量信息行動力,能夠幫助進行產(chǎn)品質(zhì)量控制。
生物(切片)成像
生物切片成像表征很容易理解切實把製度,簡而言之保供,我們能夠在納米尺度范圍內(nèi),對于細胞進行超聲波成像協同控製。這種應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)的多參數(shù)物理量非接觸成像技術(shù)有助于提高細胞結(jié)構(gòu)學(xué)的認知振奮起來,在生物多樣性過程中以及在退化性疾病或癌癥的研究中起著至關(guān)重要的作用品質。Neta 技術(shù)創(chuàng)新利用好,為這一領(lǐng)域的研究提供了無限可能性。
材料領(lǐng)域
時間分辨光譜學(xué)是研究超快瞬態(tài)現(xiàn)象解決問題、材料間的相移和薄膜應(yīng)力松弛的各種相關(guān)技術(shù)系列。在實現(xiàn)納米熱學(xué)或皮秒聲學(xué)研究方法中,我們的產(chǎn)品在納米尺度上對這種現(xiàn)象的成像提供了可能性相互配合。這些現(xiàn)象的研究對更好地理解物質(zhì)的結(jié)構(gòu)以及如何改進物質(zhì)的結(jié)構(gòu)起著重要的作用慢體驗。
技術(shù)參數(shù)
JAX詳細規(guī)格和性能
主系統(tǒng)規(guī)格
JAX | 單波長 | 雙波長 |
光譜范圍 | UV / VIS / IR | UV & VIS / VIS & IR |
橫向空間分辨率 | 250 nm |
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時間分辨率 | 250 fs |
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時間測量窗口 | 23 ns |
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采樣點激光功率 | 500 mW |
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激光重復(fù)率 | 44 MHz |
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掃描時長 | 2 ms per acquisition |
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重復(fù)率偏移調(diào)諧 | 0.1 ms per acquisition |
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成像大尺寸 | 大 50 x 50 mm² 或定制到450 mm 半徑 |
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| HEAD | ONTROLLER |
尺寸 | 852 x 774 x 630 mm | 20U單機架 |
重量 | 80 kg | 90 kg |
配置 | up to 24 |
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預(yù)熱時間和校準時間 | 少于5 分鐘 |
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樣品臺規(guī)格
類型 | 數(shù)值 | |
尺寸 | 150 x 100mm | |
機械接口 | M6 , 25 x 25mm | |
載物臺 |
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行程 | 25 x 25 mm | 40x50 mm |
大速度 | 1 mm/s | 5 mm/s |
小步進精度 | 低于50 nm | 低于100 nm |
JAX 多提供 24 個不同的配置:
2 可能的波長在雙波長系統(tǒng)中,
4 top/bottom 配置的泵浦和探針激光器 (top/top, top/bottom, bottom/top, bottom/bottom)
3 研究方法:泵浦和探針探測同一點智能化,探針掃描小的泵浦激光器周圍區(qū)域或者透射模式
成像配置
用戶可以在軟件內(nèi)的屏幕上直接顯示樣品的實時顯微光學(xué)視圖科技實力。相機可在標準的俯視圖內(nèi)觀察研究區(qū)域,并幫助粗對準的泵浦激光器探測光束建設。樣品架配備有6位物鏡轉(zhuǎn)輪在此基礎上,以便預(yù)先安裝多達6種不同的顯微鏡物鏡頭助力各行,而無需進一步校準。
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