質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)由單路或多路質(zhì)量流量計控制數據顯示、混合連續(xù)供氣，實現(xiàn)了氣體的質(zhì)量流量精密測量和控制也逐步提升；結(jié)合我司各種規(guī)格型號的管式爐記得牢、CVD系統(tǒng)及退火爐等對材料、氣體流量的精確測量和控制重要的作用，應(yīng)用性強更多可能性；具有混氣均勻，控制精度高足夠的實力，數(shù)顯直觀重要性，操作靈敏等優(yōu)點。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要功能和特點：

1多種場景、質(zhì)量流量計多元化服務體系、流量顯示儀分體式連接，便于操作及使用擴大公共數據；

2深度、控制精度高，響應(yīng)快核心技術體系，極低的零漂及溫漂開拓創新，良好的兼容性持續發展；

3、系統(tǒng)配有混氣罐促進善治，可單路或多路配合進氣擴大；

4、每條氣體管路均配有安全截止閥發揮效力，確保系統(tǒng)的安全可靠新格局；

5、流量控制器的規(guī)格型號可根據(jù)要求定制安全鏈；

6顯示、采用世偉洛克卡套接頭連接，保證良好的密封性進一步完善；

7集聚、整體式爐架結(jié)構(gòu)，搭配性能強調整推進，可放置我司各種規(guī)格型號的管式爐等狀況；

8、可通過軟件支持人機交互界面機製，操作簡單方便同期；

9、預留真空系統(tǒng)位置使命責任，可選不同真空系統(tǒng)效果，組合搭配方便快捷。

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)主要用途和適用范圍：

用于高溫氣氛燒結(jié)合規意識、氣氛還原密度增加、CVD/CVI實驗等精密氣體的流量控制。

注意：嚴禁氫氣和氧氣同時供氣創新內容，保證安全

質(zhì)?量混配氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號

HQ-Z（通過歐盟CE認證機遇與挑戰，證書編號：4635230915/4636230915）

爐體結(jié)構(gòu)

雙層爐架結(jié)構(gòu)，預留真空系統(tǒng)善於監督，組合性強

控制方式

質(zhì)量流量計配合流量顯示儀

流量規(guī)格

0－500SCCM/0－1SLM（可根據(jù)客戶需要配置）

線性

±0.2%F.S.

準確度

±1.5%F.S.

重復精度

±1.5%F.S.

響應(yīng)時間

≤8sec

耐壓

3MPa

氣路通道

多通道（根據(jù)客戶需求）

混氣罐

SUS316不銹鋼集成技術，尺寸：Φ100*200mm

閥  門

SUS316不銹鋼卡套針閥

管　道

Φ6mm無縫鋼管管

接　口

SwagelokΦ6mm

尺寸和重量

設(shè)備：530*1200*850mm （深*寬*高）；凈重   kg

標準配置

 主機1臺更合理，說明書適應能力、合格證、保修卡各1份