流量范圍：0-5SCCM-0-500SLPM ；zui大操作壓力： 1000PSIG （6.9 MPa）關註；主體材質(zhì)316不銹鋼

001 研究進展， 002 和 003A 型質(zhì)量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應(yīng)用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮?dú)饬砍讨虚_展。?dāng)它與質(zhì)量流量計(jì)結(jié)合使用時(shí)互動互補，就可構(gòu)成一個(gè)閉合回路控制系統(tǒng) , 該系統(tǒng)允許單獨(dú)組件配置（流量計(jì)和控制閥門）。 
001 型意向， 002 型意料之外， 003A 型 質(zhì)量流量控制閥門技術(shù)參數(shù) 
流量范圍* ：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM 
環(huán)境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉） 
zui大操作壓力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請(qǐng)參考表一
安裝方向 ：對(duì)位置不敏感 
額定工作電壓 ： 4-11VDC （zui大 24VDC ） 
額定工作電流 ： 150mADC （zui大 275 mADC ） 
閥線圈電阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） 形式； 63 ± 3 Ω（ 002型） 
重 量 ：請(qǐng)參考表一 
結(jié)構(gòu)材質(zhì) 
主體： 316 不銹鋼 
孔： 316 不銹鋼 
閥組件（接液）： 001 型： 302SS 置之不顧， 316SS ， 430FSS 數字化， Sandvik?1802 
002 型： 302SS 方便， 316SS ， Sandvik1802 
003A 型： 302SS 深刻內涵， 316SS 傳遞， 430FSS ， Sandvik1802 
密封材質(zhì)（” O ”型環(huán)和閥座）： 001 型： Buna N 深入闡釋， EPDM 相關性， Kalrez ， Neoprene 物聯與互聯， Viton
002 型： Buna N 穩定， EPDM 改造層面， Kalrez ， Neoprene 優勢與挑戰， Viton 
003A 型： Buna N 經驗分享， Viton 
* 注：上述流量范圍反映的是氮?dú)鈽?biāo)定下產(chǎn)生的zui小流量和zui大流量，可采用其它介質(zhì)的流量范圍趨勢，當(dāng)操作參數(shù)有疑問時(shí)為了保證選型有力扭轉，請(qǐng)咨詢廠家。

表 一

訂貨時(shí)須提供以下信息： 
1 設備製造、產(chǎn)品型號(hào) 
2 發展需要、密封材質(zhì)（閥座 / “ O ”型環(huán)） 
3 、接口尺寸和類型 
4 管理、流量范圍 
5 顯示、介質(zhì)（氣體類型） 
6 、工作溫度 
7 效率和安、入口壓力 P1 
8 設計能力、出口壓力 P2 
9 、其它要求