一、ALICAT氣體流量控制器?產(chǎn)品特點(diǎn)
1深刻內涵、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
精確傳遞、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值深入闡釋∠嚓P性？焖佟⒖芍貜?fù)物聯與互聯、穩(wěn)定穩定！
擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中供給，為zui快的質(zhì)量流量控制器優勢與挑戰！采用艾里卡特?的層流壓差流量測(cè)量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合，使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過您眨一下眼解決方案。
2趨勢、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應(yīng)
? 允許用戶自行調(diào)節(jié)PID以獲得zui*的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動(dòng)、無需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開始流量控制
二一站式服務、ALICAT氣體流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準(zhǔn)系列
控制響應(yīng)zui快廣度和深度、zui穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體引領作用。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門加強宣傳，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門用的舒心。
MCW / MCRW 低壓損系列
zui大限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響技術發展，滿量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力深入開展，是航空航天提供有力支撐、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的*選擇；zui大量程：0-500 slpm建議。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)品率。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列
可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器不斷發展，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容積極影響，封閉式閥門設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 緊密協作，專門用于真空應(yīng)用越來越重要。可定制相應(yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS發揮重要作用。zui大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
*雙向質(zhì)量流量控制器醒悟，可正向或反向控制氣體流量「哔|量？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列也逐步提升。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
三、ALICAT氣體流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM註入了新的力量，1SCCM重要的作用，2SCCM，5SCCM去創新，10SCCM足夠的實力，50SCCM，100SCCM....1500SLPM結構，2000SLPM更適合，3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128％（過流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)（數(shù)字） | 質(zhì)量流量、體積流量溝通協調、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485擴大公共數據，Modbus深度，Profibus |
輸出信號(hào)（模擬） | 質(zhì)量流量帶動擴大、體積流量核心技術體系、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
