GC-9560-HG高純氣體分析系統(tǒng)適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)特點,儀器配備*高靈敏的氦離子化(PDHID)檢測(cè)器積極回應;采用華愛(ài)色譜擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù),進(jìn)樣閥采用*的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥又進了一步,連同*的氦氣純化器多種場景、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案。
*規劃,高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程擴大公共數據,也是色譜分析的難點(diǎn)之一;不僅需要高靈敏的檢測(cè)器帶動擴大,還要考慮樣品本身的特性及其背景核心技術體系,如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入性能、系統(tǒng)的密閉性初步建立、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)。上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn)供給,并給出了所有難點(diǎn)的解決措施的方法,使GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀成為專(zhuān)業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析用的舒心。
適用的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):
1廣泛關註、高純氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫倍增效應、超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 8979-2008《純氮製造業、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
2優化服務策略、電子氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》 GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》 GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》
GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
系統(tǒng)配置:
(1)GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀
“l展基礎。?)氦離子化檢測(cè)器(PDHID)
蓚€角度入手。?)中心切割系統(tǒng)
(4)多柱箱系統(tǒng)
⊥?。?)氦氣純化器
∩a效率。?)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(7)色譜柱
⌒Ч?。?)高純氦(純度>99.999%)
∈褂?。?)氧吸附與還原系統(tǒng)
『弦幰庾R。?0)載氣減壓閥
(11)無(wú)死體積取樣閥
∮行?。?2)GC-9560V4.0版反控色譜工作站
一創新內容、中心切割技術(shù),實(shí)現(xiàn)氣體全分析:
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)力量,該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成我有所應,通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換深入實施、切割與反吹等過(guò)程至關重要,一次進(jìn)樣即可完成包括高純氮、高純氫效果、高純氧有所應、高純氦、高純二氧化碳合作關系、高純氬著力提升、氪氣、氙氣傳遞、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)重要的作用。
u 吹掃型十通閥
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為*VICI生產(chǎn)的帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥,閥平面始終處于載氣的氛圍中規模最大,避免進(jìn)樣和切換時(shí)空氣滲透到樣品之中穩中求進,大大提高檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性。
VICI AG International是*的進(jìn)樣閥供應(yīng)商最深厚的底氣,其生產(chǎn)的進(jìn)樣閥制作精良協同控製,外觀精美,所有材料均進(jìn)行了防吸附處理品質,且整個(gè)閥體的死體積已減小到*利用好,再配合吹掃氣路的保護(hù),從而*排除空氣滲透對(duì)樣品中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的影響
u 經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
〗鉀Q問題。?) 色譜柱管材采用316L不銹鋼材料系列,且管材內(nèi)壁均經(jīng)過(guò)鈍化處理,防止吸附和一氧化碳拖尾等問(wèn)題的產(chǎn)生
∠嗷ヅ浜?。?) 色譜柱擔(dān)體均經(jīng)過(guò)特殊處理空間載體,避免氧吸附等問(wèn)題的產(chǎn)生
(3) 預(yù)切柱采用華愛(ài)色譜獲得國(guó)家的微型填充柱技術(shù)相對簡便,*樣品的分離,兼顧分離流程、穩(wěn)定與快速
二合作、多柱箱分離系統(tǒng)
氣體樣品的形式多種多樣勃勃生機,同時(shí)雜質(zhì)種類(lèi)繁多,需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來(lái)完成氣體樣品中的所有雜質(zhì)的分離極致用戶體驗。由于不同色譜柱的*工作溫度不盡相同提供有力支撐,在同一個(gè)柱箱中很難找到同時(shí)適合不同色譜柱工作的*工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設(shè)計(jì)建議,有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題品率。
在儀器的日常維護(hù)中,由于5A分子篩等不同擔(dān)體的色譜柱的活化溫度各不相同不斷發展,如果在同一柱箱中進(jìn)行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來(lái)積極影響,然后分別進(jìn)行活化。GC-9560-HG的多柱箱設(shè)計(jì)可以有效解決上述問(wèn)題緊密協作,不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化越來越重要,避免了日常儀器維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問(wèn)題。
三發揮重要作用、HP-2氦氣純化器:
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣近年來,氦氣的純度直接影響到整個(gè)儀器對(duì)雜質(zhì)的檢測(cè)靈敏度。試驗(yàn)證明發展目標奮鬥,高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個(gè)數(shù)量級(jí)技術先進。
HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專(zhuān)載氣純化器,其純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金延伸,吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過(guò)加熱活化認為,活化過(guò)程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成,這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散技術特點,防止氧氣純化層的形成提高鍛煉,又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性凝聚力量,包括兩個(gè)溫度控制范圍有所提升。
可純化氣體:He、Ar新的力量、Ne先進水平、Kr、Xe全面展示、Rn
zui大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2重要平臺、O2、N2核心技術、CO應用提升、CO2、CH4、H2O發展的關鍵、NO道路、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
四真諦所在、進(jìn)樣壓力校正系統(tǒng)
傳統(tǒng)的色譜儀采用在進(jìn)樣閥出口處控制流量的辦法來(lái)控制定量管內(nèi)的進(jìn)樣體積指導,試驗(yàn)證明這種方法有著很大的分析誤差
以分析高純氫氣為例:標(biāo)準(zhǔn)氣是配置在氦氣中的六種雜質(zhì),而樣品氣是在氫氣中的六種雜質(zhì)充分;由于氦氣和氫氣的分子量不同進一步完善,從而造成了在相同流量下的進(jìn)樣量是不*的情況
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng),克服因底氣不同造成的進(jìn)樣量不*的問(wèn)題競爭力,確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性調整推進。
五、無(wú)死體積取樣閥
GC-9560-HG配備了無(wú)死體積的取樣閥更讓我明白了,采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式迎難而上,有效的避免了空氣殘留的問(wèn)題,將取樣過(guò)程對(duì)分析的影響降至zui低的水平探索。
六堅持先行、載氣減壓閥
普通減壓閥由于大量死體積的存在,直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度滿意度,造成載氣中的本底雜質(zhì)濃度很高情況較常見,從而影響到整個(gè)系統(tǒng)的檢測(cè)限。
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥主要抓手,大大提高了壓力穩(wěn)定性體製,確保基線的穩(wěn)定創新科技,同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積服務延伸,進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度。
七具有重要意義、電子氣取樣系統(tǒng)
電子氣體的分析有其特殊性進一步,如硅烷遇O2極易自燃、有些電子氣體為有毒有害氣體強大的功能,采用傳統(tǒng)的取樣方式無(wú)法完成電子氣的分析
GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀可以選配專(zhuān)業(yè)的電子氣取樣系統(tǒng)實際需求,該系統(tǒng)采用吹掃、真空等方式確保系統(tǒng)中無(wú)O2存在優勢,管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道善謀新篇,內(nèi)壁經(jīng)拋光和鈍化處理,防止吸附便利性。接口采用鍍金卡套式接口方法,嚴(yán)格確保系統(tǒng)氣密性,排除了潛在危險(xiǎn)。電磁閥和微型真空泵的應(yīng)用使整個(gè)系統(tǒng)的操作更加方便穩中求進,通過(guò)色譜工作站可完成吹掃統籌,取樣,進(jìn)樣等一系列操作協同控製。