GC-9560氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)全面革新,儀器配備*高靈敏的氦離子化(PDHID)檢測(cè)器;采用華愛(ài)色譜擁有技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù)情況正常,進(jìn)樣閥采用*的帶吹掃保護(hù)氣路的六通或十通閥行業分類,連同*的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體解決方案提高鍛煉。
*發展邏輯,高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程,也是色譜分析的難點(diǎn)之一有所提升;不僅需要高靈敏的檢測(cè)器聽得進,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附先進水平、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入便利性、系統(tǒng)的密閉性、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié)。上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司總結(jié)了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn)深刻認識,并給出了所有難點(diǎn)的解決措施核心技術,使GC-9560氣相色譜儀成為國(guó)內(nèi)專(zhuān)業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng),很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)主動性,特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析創造性。
適用的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):
1、高純氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 7445-1995 《純氫道路、高純氫規模設備、超純氫》 GB/T 14599-2008《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 8979-2008《純氮指導、高純氮和超純氮》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-2006《氪氣》 GB/T 5828-2006《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
2競爭力、電子氣標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》 GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》 GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》
GB/T18867-2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》
系統(tǒng)配置:
(1)GC-9560氣相色譜儀
∵M一步完善。?)氦離子化檢測(cè)器(PDHID)
⊙u造業。?)中心切割系統(tǒng)
(4)多柱箱系統(tǒng)
£P規定。?)氦氣純化器
“l展基礎。?)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(7)色譜柱
∮y而上。?)高純氦(純度>99.999%)
》e極。?)氧吸附與還原系統(tǒng)
(10)載氣減壓閥
猿窒刃?。?1)無(wú)死體積取樣閥
‘a業。?2)GC-9560V4.0版反控色譜工作
一、中心切割技術(shù)情況較常見,實(shí)現(xiàn)氣體全分析:
GC-9560氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)可持續,該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成,通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣體製、切換構建、切割與反吹等過(guò)程,一次進(jìn)樣即可完成包括高純氮服務延伸、高純氫共創輝煌、高純氧、高純氦進一步、高純二氧化碳大部分、高純氬、氪氣實際需求、氙氣解決方案、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)優勢。
1、吹掃型十通閥
氦離子化氣相色譜儀GC-9560-HG所配備的均為*VICI生產(chǎn)的帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥增產,閥平面始終處于載氣的氛圍中便利性,避免進(jìn)樣和切換時(shí)空氣滲透到樣品之中,大大提高檢測(cè)靈敏度和準(zhǔn)確性貢獻。
VICI AG International是*的進(jìn)樣閥供應(yīng)商,其生產(chǎn)的進(jìn)樣閥制作精良穩中求進,外觀精美統籌,所有材料均進(jìn)行了防吸附處理,且整個(gè)閥體的死體積已減小到*協同控製,再配合吹掃氣路的保護(hù)振奮起來,從而*排除空氣滲透對(duì)樣品中痕量雜質(zhì)檢測(cè)的影響
2、經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
±煤?。?)色譜柱管材采用316L不銹鋼材料深入各系統,且管材內(nèi)壁均經(jīng)過(guò)鈍化處理,防止吸附和一氧化碳拖尾等問(wèn)題的產(chǎn)生
⊙u度保障。?)色譜柱擔(dān)體均經(jīng)過(guò)特殊處理預下達,避免氧吸附等問(wèn)題的產(chǎn)生
(3) 預(yù)切柱采用華愛(ài)色譜獲得國(guó)家的微型填充柱技術(shù)統籌推進,*樣品的分離方案,兼顧分離、穩(wěn)定與快速
二了解情況、多柱箱分離系統(tǒng)
氣體樣品的形式多種多樣深入,同時(shí)雜質(zhì)種類(lèi)繁多,需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來(lái)完成氣體樣品中的所有雜質(zhì)的分離重要的。由于不同色譜柱的*工作溫度不盡相同開展研究,在同一個(gè)柱箱中很難找到同時(shí)適合不同色譜柱工作的*工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設(shè)計(jì)相互融合,有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題首要任務。
在儀器的日常維護(hù)中,由于5A分子篩等不同擔(dān)體的色譜柱的活化溫度各不相同不同需求,如果在同一柱箱中進(jìn)行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來(lái)先進的解決方案,然后分別進(jìn)行活化。GC-9560-HG的多柱箱設(shè)計(jì)可以有效解決上述問(wèn)題創造更多,不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化宣講活動,避免了日常儀器維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問(wèn)題。
三工藝技術、HP-2氦氣純化器:
氦離子化氣相色譜儀GC-9560-HG采用高純氦氣為載氣效率,氦氣的純度直接影響到整個(gè)儀器對(duì)雜質(zhì)的檢測(cè)靈敏度規模。試驗(yàn)證明,高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個(gè)數(shù)量級(jí)講道理。
HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專(zhuān)載氣純化器發展目標奮鬥,其純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金,吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過(guò)加熱活化更多的合作機會,活化過(guò)程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成延伸,這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散,防止氧氣純化層的形成服務好,又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附新趨勢。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性,包括兩個(gè)溫度控制范圍共謀發展。
可純化氣體:He學習、Ar、Ne市場開拓、Kr措施、Xe、Rn
zui大操作壓力:1000Psi
去除氣體:H2要落實好、O2緊密相關、N2、CO先進技術、CO2共同學習、CH4、H2O深入、NO效高、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
四基礎、進(jìn)樣壓力校正系統(tǒng)
傳統(tǒng)的色譜儀采用在進(jìn)樣閥出口處控制流量的辦法來(lái)控制定量管內(nèi)的進(jìn)樣體積性能,試驗(yàn)證明這種方法有著很大的分析誤差
以分析高純氫氣為例:標(biāo)準(zhǔn)氣是配置在氦氣中的六種雜質(zhì),而樣品氣是在氫氣中的六種雜質(zhì)對外開放;由于氦氣和氫氣的分子量不同技術創新,從而造成了在相同流量下的進(jìn)樣量是不*的情況
GC-9560氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng),克服因底氣不同造成的進(jìn)樣量不*的問(wèn)題資料,確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性廣泛應用。
五、無(wú)死體積取樣閥
GC-9560-HG配備了無(wú)死體積的取樣閥橫向協同,采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式哪些領域,有效的避免了空氣殘留的問(wèn)題,將取樣過(guò)程對(duì)分析的影響降至zui低的水平不斷創新。
六建立和完善、載氣減壓閥
普通減壓閥由于大量死體積的存在提供了遵循,直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度,造成載氣中的本底雜質(zhì)濃度很高大型,從而影響到整個(gè)系統(tǒng)的檢測(cè)限服務效率。
GC-9560氣相色譜儀配備具有兩級(jí)穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥,大大提高了壓力穩(wěn)定性重要意義,確苯y籌發展;€的穩(wěn)定,同時(shí)也降低了閥體內(nèi)的死體積追求卓越,進(jìn)一步提高檢測(cè)靈敏度逐漸完善。
七、電子氣取樣系統(tǒng)
電子氣體的分析有其特殊性覆蓋,如硅烷遇O2極易自燃異常狀況、有些電子氣體為有毒有害氣體研究,采用傳統(tǒng)的取樣方式無(wú)法完成電子氣的分析
GC-9560氣相色譜儀可以選配專(zhuān)業(yè)的電子氣取樣系統(tǒng)高效,該系統(tǒng)采用吹掃、真空等方式確保系統(tǒng)中無(wú)O2存在提高,管路全部采用316L不銹鋼材料制成的外徑1/8"管道機構,內(nèi)壁經(jīng)拋光和鈍化處理,防止吸附交流。接口采用鍍金卡套式接口基礎,嚴(yán)格確保系統(tǒng)氣密性,排除了潛在危險(xiǎn)還不大。電磁閥和微型真空泵的應(yīng)用使整個(gè)系統(tǒng)的操作更加方便高產,通過(guò)色譜工作站可完成吹掃,取樣發揮作用,進(jìn)樣等一系列操作良好。
八、具備反控功能的GC-9560氣相色譜儀
GC-9560氣相色譜儀是上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司針對(duì)高純氣體分析的特點(diǎn)設(shè)計(jì)的一款具有反控功能的氣相色譜儀銘記囑托。儀器采用大屏幕LCD液晶顯示器引領,中文菜單式操作,顯示直觀示範、操作方便應用前景。
儀器高度自動(dòng)化,通過(guò)工作站設(shè)置的時(shí)間程序運行好,可以完成對(duì)中心切割反吹系統(tǒng)的自動(dòng)控制
儀器具備八階程序升溫功能首次,并采用多柱箱設(shè)計(jì),滿足復(fù)雜樣品的分離
*的雙后開(kāi)門(mén)設(shè)計(jì)部署安排,滿足快速降溫和近室溫操作的需求