目錄:島津企業(yè)管理(中國(guó))有限公司>>電子探針X射線微區(qū)分析儀>> EPMA-8050G島津場(chǎng)發(fā)射電子探針X射線微區(qū)分析儀
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更新時(shí)間:2022-04-02 16:45:39瀏覽次數(shù):6617評(píng)價(jià)
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EPMA-8050G島津場(chǎng)發(fā)射電子探針X射線微區(qū)分析儀性能特點(diǎn):
● 出色的空間分辨率
EPMA-8050G島津場(chǎng)發(fā)射電子探針X射線微區(qū)分析儀可達(dá)到的高級(jí)別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV)數據顯示,分析條件下的二次電子分辨率重要組成部分。
(加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)
● 大束流超高靈敏度分析
實(shí)現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流規則製定⊙u造業?沙哽`敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無(wú)需更換物鏡光闌關規定。
● 高性能X射線譜儀
秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢(shì)的52.5°X射線取出角發展基礎。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率∮y而上?赏瑫r(shí)搭載5通道高性能X射線譜儀積極。分析性能更勝*。
● 全部分析操作簡(jiǎn)單易懂
全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的先進(jìn)可操作性堅持先行。追求「易懂」的人性化用戶界面產業。搭載導(dǎo)航模式,自動(dòng)指引直至生成報(bào)告情況較常見。
◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的先進(jìn)技術(shù)
1高亮度肖特基發(fā)射體
島津場(chǎng)發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更大可持續,輸出更高。即可以保持其高亮度體製,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)定大電流構建。
2EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)系統(tǒng),聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側(cè)探討,交叉點(diǎn)不是靠聚光透鏡形成不負眾望,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上高效流通,具有獨(dú)立構(gòu)成與控制方式的可變光闌透鏡來(lái)形成交叉點(diǎn)的調解製度。簡(jiǎn)單的透鏡結(jié)構(gòu),既能獲得大束流功能,同時(shí)全部電流條件下設(shè)定合適的打開(kāi)角度應用的因素之一,將電子束壓縮到細(xì)。當(dāng)然是不需要更換物鏡光闌的預期。
3超高真空排氣系統(tǒng)
電子槍室敢於監督、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2級(jí)差動(dòng)排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小重要的作用,以控制流入中間室的氣體貢獻,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作穩中求進。
4高靈敏度X射線譜儀
島津場(chǎng)發(fā)射電子探針多可同時(shí)搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀統籌。52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號(hào)的空間分辨率的同時(shí),又可減小樣品對(duì)X射線的吸收協同控製,實(shí)現(xiàn)高靈敏度的分析振奮起來。
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