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目錄:廣州貝拓科學(xué)技術(shù)有限公司>>白光干涉薄膜厚度儀>> 白光干涉薄膜厚度測量儀Delta

白光干涉薄膜厚度測量儀Delta
  • 白光干涉薄膜厚度測量儀Delta
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更新時(shí)間:2021-01-21 13:16:05瀏覽次數(shù):1679評(píng)價(jià)

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白光干涉薄膜厚度測量儀Delta利用薄膜干涉光學(xué)原理問題分析,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。

 白光干涉薄膜厚度測量儀Delta利用薄膜干涉光學(xué)原理不負眾望,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面調解製度,探頭同位接收反射光線精準調控。白光干涉薄膜厚度測量儀Delta根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度應用的因素之一。測量范圍1nm-3mm解決,可同時(shí)完成多層膜厚的測試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值集成技術。

產(chǎn)品特點(diǎn)

快速就能壓製、準(zhǔn)確、無損適應能力、靈活、易用各方面、性價(jià)比高

應(yīng)用領(lǐng)域                               

半導(dǎo)體(SiO2/SiNx防控、光刻膠、MEMS適應性,SOI等)         LCD/TFT/PDP(液晶盒厚堅實基礎、聚亞酰胺ITO等)              LED (SiO2、光刻膠ITO等)

                          

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)                            汽車(防霧層方法、Hard Coating DLC等)                            醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/*壁厚藥膜等)

 

型號(hào)

Delta-VIS

Delta-DUV

Delta-NIR

波長范圍

380-1050nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

1nm-30um

10um-3mm

準(zhǔn)確度1

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

是否能在線

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者行動力。

2. 可選微光斑附件。

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