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卓立漢光全新推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)即將展開。該系統(tǒng)通過智能化實時調(diào)焦技術(shù)大幅增加，顯著提升樣品檢測的可靠性和效率，有效解決樣品表面不平整等導(dǎo)致的聚焦困難傳承、信號采集不穩(wěn)定等問題等特點，具備高穩(wěn)定、高分辨率多種、高速掃描等性能優(yōu)勢將進一步，可實現(xiàn)三維化學(xué)組分的信息檢測，其適用于材料科學(xué)發展成就、生物醫(yī)藥成就、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的微區(qū)化學(xué)成分分析。

引言

拉曼光譜作為分子 “指紋” 識別技術(shù)開展面對面，在微區(qū)化學(xué)成分分析中不*或缺效高性，但傳統(tǒng)拉曼圖像掃描模式面臨多重挑戰(zhàn)：樣品厚度不均導(dǎo)致局部離焦、動態(tài)環(huán)境下聚焦漂移自動化、粗糙表面信號采集穩(wěn)定性差等提升，嚴重限制了對復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品（如半導(dǎo)體晶圓高品質、生物組織、藥物制劑）的精準(zhǔn)表征支撐能力。

未解決這一難題資源優勢，卓立漢光推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)，通過智能化聚焦控制與優(yōu)化光路設(shè)計特征更加明顯，實現(xiàn)對樣品表面形貌的動態(tài)追蹤與實時校正估算，無需手動干預(yù)即可完成復(fù)雜樣品的高效、高保真檢測的可能性，為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供了全新的拉曼化學(xué)成像解決方案不要畏懼。

性能優(yōu)勢

系統(tǒng)以 “實時聚焦 + 精準(zhǔn)檢測” 為核心設(shè)計理念，通過多模塊協(xié)同實現(xiàn)復(fù)雜樣品的高效表征：

• 三維成像能力：搭配激光共焦光路設(shè)計問題，采集樣品表面化學(xué)組分信息逐漸顯現，通過三維數(shù)據(jù)構(gòu)造表面成分圖像。

• 高頻實時響應(yīng)：優(yōu)化光路與快速聚焦算法發展機遇，響應(yīng)速度塊長效機製，可實百Hz高頻響應(yīng)，實現(xiàn)真正意義上的焦平面實時追蹤全技術方案；

• 亞微米級靈敏度：集成高靈敏度光學(xué)傳感器與模擬電路快速反饋模塊分享，壓電陶瓷驅(qū)動物鏡動態(tài)追蹤樣品表面，可實現(xiàn)亞微米尺度焦深變化識別信息化，超越拉曼光譜分辨極限

• 強抗干擾能力：抗環(huán)境振動干擾設(shè)計方式之一，適合長時間連續(xù)掃描，具備高穩(wěn)定性新型儲能。

• 低損傷檢測：激光連續(xù)可調(diào)功率競爭力所在，有效避免樣品光損傷，適合生物活細胞領域、有機材料等敏感體系

• 高空間分辨率：搭配高數(shù)值孔徑物鏡與優(yōu)化的光路設(shè)計溝通機製，空間分辨率低至0.5um，清晰解析微區(qū)化學(xué)分布差異註入新的動力。

• 可拓展性強：可升級相關(guān)配置領先水平，同步輸出表面形貌圖

典型應(yīng)用場景

材料科學(xué)：半導(dǎo)體晶圓缺陷分析、電池極片成分分布雙重提升、薄膜材料層間界面表征戰略布局、高分子聚合物相分離研究等。

生物醫(yī)藥：組織切片微區(qū)成分成像表現明顯更佳、活細胞代謝物動態(tài)監(jiān)測狀態、蛋白質(zhì)構(gòu)象變化分析等。

制藥領(lǐng)域：藥片活性成分分布均勻性檢測、緩釋制劑包膜成分分析廣泛認同、中藥微丸多組分識別等國際要求。

考古與文博：陶瓷釉料分層成分鑒定、壁畫顏料微區(qū)分析鍛造、文物表面腐蝕產(chǎn)物表征等競爭激烈。

環(huán)境監(jiān)測：微塑料顆粒成分與形貌關(guān)聯(lián)分析、大氣顆粒物化學(xué)組成溯源等改善。

測試案例

WSe晶圓表面成分成像

采用 532nm 激光器對WSe 晶圓（檢測范圍 5.5×5cm）進行分析空白區，對同一片晶圓進行非自動聚焦采集時，可以清晰看到樣品的離焦情況信息化，拉曼光譜信號“山脊?fàn)睢狈植迹?/span>無法反映真實成分分布形勢。使用自動共聚焦技術(shù)檢測時，可使樣品表面始終處于精準(zhǔn)對焦?fàn)顟B(tài)平臺建設，拉曼信號強度呈現(xiàn)均勻分布服務機製。此外，且捕捉到少量因局部成核推動並實現、薄膜增厚導(dǎo)致的強信號點薄弱點，為晶圓生長缺陷分析提供關(guān)鍵依據(jù)覆蓋範圍。

圖 WSe晶圓樣品優化程度，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

先進陶瓷材料

先進陶瓷（又稱高性能陶瓷或工程陶瓷）是一類具有優(yōu)異力學(xué)奮勇向前、熱學(xué)不斷豐富、電學(xué)或化學(xué)性能的無機非金屬材料，廣泛應(yīng)用于高科技和工業(yè)領(lǐng)域組建。采用532nm激光器檢測先進陶瓷材料各有優勢，檢測范圍50x50um，其形貌高度變化約為40um重要的意義。采用非自動聚集技術(shù)對陶瓷表面進行拉曼成像時持續，僅部分樣品區(qū)域能保持清晰對焦，可以清晰看到樣品的離焦情況再獲。下圖（使用自動共聚焦技術(shù)）產品和服務，可使樣品表面始終處于精準(zhǔn)對焦?fàn)顟B(tài)。

圖 先進陶瓷材料體驗區，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖增多；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

結(jié)論

卓立漢光自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)憑借智能化實時調(diào)焦技術(shù)與優(yōu)化光路設(shè)計，有效克服了傳統(tǒng)拉曼光譜在復(fù)雜樣品檢測中的離焦有望、信號不穩(wěn)定等難題進一步推進，實現(xiàn)了物質(zhì)化學(xué)成像分析，為材料科學(xué)方案、生物醫(yī)藥應用的選擇、制藥十大行動、考古以及環(huán)境監(jiān)測等諸多領(lǐng)域的微區(qū)成分精準(zhǔn)分析提供了切實可行的優(yōu)質(zhì)解決方案。