爐體結構

• 雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷）
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率領先水平，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點擊圖片查看詳情）

加熱區(qū)

12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5ºC ）

石英管和樣品架

• 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
• 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
•  一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
• AlN 具有很高的熱導率橋梁作用，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

真空法蘭

• 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作長遠所需，兩個高溫“O”型圈密封
• 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內插式熱偶保證了溫度的準確。

水冷

如果要求通冷卻水.

• 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20ºC; 水壓 > 25 PSI

• 我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.

• 警告:  這款 RTP 爐在1000ºC ~ 1100ºC下保溫時間不超過 600 秒讓人糾結，否則“ O”圈將被燒融
           

流量計

范圍： 16 - 160 ml/min

真空表

• 標配：數(shù)字真空表規模，測量范圍：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮氣下校準的基石之一，只有在氮氣和空氣下表上顯示的是實際壓力聯動，當通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表共同努力，否則后果會很嚴重行業內卷。
• 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換逐漸完善。（點擊圖片了解詳細參數(shù)）
  

真空度

• 用機械泵真空度達 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可達 10^-4 torr .

溫度控制

PID 自動控制參與能力， 可控硅 SCR

熱偶

進口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。

溫控儀

• PID 自動控制是目前主流，30段程序帶過熱和斷偶保護功能
• 熱偶: 進口K type
• 自整定功能
• 控溫精度: +/- 1°C
• RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購）  
• 溫控操作視頻：點擊查看

zui快升溫速度 

室溫~800℃： 50 ^oC/sec 充分發揮，800℃~1000℃： 10^oC/sec

zui快降溫速度 

60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一個大氣壓下) 

選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐充分發揮，如下圖:

溫度

zui高1100ºC 選擇適用，額定1000°C

電源 

208-240 AC, 50/60 Hz 單相, zui大功率9KW (> 60A 保險) 

 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）
     

尺寸 

760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) 

重量 

45 kg (100 lbs) 

保修期

電器部分一年質保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內）

認證

• CE認  
• 所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認證
• 若客戶出認證費用設計，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

    名稱：一種快速高溫退火爐

    編-2011-2-0077168.4

    尊重創(chuàng)新業務指導、鄙視抄襲、侵權必究

• 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
• 由于氣瓶內部氣壓較高就此掀開，所以向爐管內通入氣體時長足發展，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥穩步前行，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
• 當爐體溫度高于1000℃時結構不合理，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當創新的技術，保持在常壓狀態(tài)
• 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
• 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
• 對于樣品加熱的實驗顯著，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用快速增長。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa高質量，必須立刻打開泄氣閥提供了有力支撐，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）