產(chǎn)品介紹

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點(diǎn)光譜共焦測(cè)量顯微系統(tǒng)是一種可達(dá)次級(jí)微米級(jí)的非接觸式位移量測(cè)系統(tǒng)尤為突出，對(duì)于表面漫反射或鏡反射之物體乃至透明材質(zhì)皆可測(cè)量其位移或厚度規定，基于出光與回傳訊號(hào)路徑同軸之特徵，點(diǎn)光譜共焦測(cè)量顯微系統(tǒng)亦適合于深孔/盲孔工件的量測(cè)應(yīng)用空間載體。

產(chǎn)品特點(diǎn)

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1. 物鏡可以選用獨(dú)立接口高質量，也可以選用6孔鼻輪模組連接；

2. 對(duì)國(guó)內(nèi)外主流物鏡均可適配重要組成部分；

3. 光譜共焦模塊結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔流程，測(cè)量精度高、速度快有力扭轉；

4. 對(duì)觀測(cè)面反射率高的表面使用上高質量，對(duì)透明物體表面同樣適用；

5. 光譜共焦模塊測(cè)量與主成像光路共軸廣度和深度，不存在遮擋問題深入交流，且對(duì)焦檢測(cè)光斑小，可以對(duì)槽、孔臺上與臺下、凹坑等區(qū)域精準(zhǔn)測(cè)量建設；

6. 支持微分干涉觀測(cè)方式；

7. 可以與運(yùn)動(dòng)控制單元整合實(shí)現(xiàn)高速精準(zhǔn)對(duì)焦助力各行。

應(yīng)用領(lǐng)域

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廣泛應(yīng)用于電子前來體驗、半導(dǎo)體、面板確定性、設(shè)備等行業(yè)更加廣闊。測(cè)量高度、段差講故事、厚度非常完善、平面度，玻璃全面革新、陶瓷作用、鏡面金屬的輪廓，如手機(jī)行業分類、PCB技術特點、鋼化玻璃屏幕保護(hù)膜、半導(dǎo)體晶片發展邏輯。