1. AL6061 材質(zhì)真空腔體：級(jí)別密封，避免氣體泄露信息化，實(shí)現(xiàn)高效的真空度形勢，為等離子體創(chuàng)造的反應(yīng)條件;
2. 采用高質(zhì)量等離子射頻電源：13.56Mhz,確保高能量，高密度充分發揮，均勻等離子體產(chǎn)生選擇適用，確保出眾的表面處理效果;
3. 真空系統(tǒng)： 雙級(jí)旋片真空泵，真空專用電磁角閥、充氣閥業務指導、KF40 不銹鋼真空波紋管改進措施；耐高溫、抗氧化長足發展、無排放污染今年，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷;
4. 高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)：三路工藝氣體配置(氬氣結構不合理、氧氣動手能力、氮?dú)猓p路氣流控制意見征詢，比例可調(diào)提升，采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)、氣體管路及閥件;
5. 電極系統(tǒng)的必然要求，多層電極隔板設(shè)計(jì)：結(jié)構(gòu)對(duì)稱損耗小研究成果，該設(shè)計(jì)對(duì)等離子激發(fā)空間均勻 性大大改善，在同一平面上等離子清洗的速率更加一致完善好，控制電力參數(shù)由系統(tǒng)結(jié) 構(gòu)設(shè)計(jì)獲得大面積，能很好的控制電極的溫度均一性，使電極對(duì)等離子的可控性大大提高問題分析，同時(shí)使電極間空間利用率達(dá)到;
6. 自主研發(fā)等離子體控制系統(tǒng): 可根據(jù)腔體環(huán)境精準(zhǔn)控制等離子體發(fā)生時(shí)間和反應(yīng)強(qiáng)度有望，可進(jìn)行多步工藝流程處理，采用品牌電器元件, 7”真彩觸摸屏導向作用，可編程控制器方案，可在線設(shè)定、修改堅持好、監(jiān)控真空壓力即將展開、處理時(shí)間、氣體流量特性、等離子功率等工藝參數(shù)傳承，采用配方式參數(shù)系統(tǒng)，便捷切換不同工藝流程建言直達，并具有故障報(bào)警多種、工藝存儲(chǔ)、密碼等級(jí)管理等多種功能;
7. 強(qiáng)大的全面安全防護(hù)系統(tǒng)：溫度安全防護(hù)功能充分發揮，過載防護(hù)功能發展成就，短路斷路報(bào)警防護(hù)功能，非法操作提示重要方式、清潔結(jié)束提示開展面對面，各種誤操作保護(hù)功能等;
8. 處理全程無污染 ：等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染進一步提升。
