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FPD/LSI半導(dǎo)體檢查顯微鏡

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集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)我有所應,在亮度提單產、對比度和可操作性能方面都達(dá)到新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查至關重要。觀察樣品:≤Ø300 mm晶片發展空間,觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
●電動鏡頭旋轉(zhuǎn)及光圈電動控制
●具明視野.暗視野.干涉相位差.偏光等功能選擇
●基座本體一體成型,加強(qiáng)防震效果,Z軸調(diào)焦1格1um
●目鏡筒可針對user高度上下調(diào)整角度,并外接CCD Camera或數(shù)字相機(jī),將影像儲存及傳輸
●目鏡有標(biāo)準(zhǔn)10X(FN22)or超廣角10X(FN25)供選擇

增強(qiáng)的觀察有所應、耐用性和操作性能足了準備,以及顯微鏡和數(shù)碼相機(jī)之間改進(jìn)的功能,提供了理想的成像效果

增強(qiáng)觀測性能

Epi熒光觀察拓寬了檢測范圍(L300N/L300ND/L200ND)
·L300N/L300ND/L200ND能夠進(jìn)行立體照明著力提升,并提供各種觀察方法深刻內涵,如明場、暗場重要的作用、簡單偏振和DIC貢獻。它還采用Epi熒光觀察,包括365 nm紫外激發(fā)穩中求進。
·對檢測半導(dǎo)體抗蝕劑殘留物和有機(jī)電致發(fā)光顯示器非常有益統籌。
物鏡:CFI60-2 TU Plan Fluor 10x

用于Epi熒光觀察的電動汞素光纖照明控制增強(qiáng)器(L300N/L300ND/L200ND)
·采用電動控制汞素預(yù)對中光纖照明器。
·即使在更換燈后協同控製,也不需要調(diào)整燈的對中和焦點(diǎn)振奮起來。
·光源可以遠(yuǎn)離顯微鏡,減少顯微鏡附近的熱量利用好,防止散焦深入各系統。
·可變光強(qiáng)度和快門控制提供了的靈活性。
·該燈的平均壽命為2000小時(shí)系列。

 
比常規(guī)Dia觀測亮度高四倍(僅L300ND)
·L300ND采用了一種新光源和的光學(xué)器件作用,為立體觀察提供了四倍于原來亮度的照明。
 
CFI60-2光學(xué)器件提供長工作距離和高NA
·尼康原裝CFI60-2光學(xué)鏡頭通過高NA和更寬的采樣范圍提供圖像亮度慢體驗,以及具有長工作距離著力增加。
·通過弱小化光斑,提供清晰重要組成部分、高對比度的亮場圖像。
·“飛眼”透鏡陣列可在整個視野中提供均勻照明,用于暗場照明光學(xué)系統(tǒng)勃勃生機,可獲得非常明亮的高分辨率暗場圖像助力各業。


高強(qiáng)度12V-50W鹵素照明器比標(biāo)準(zhǔn)12V-100W照明器更亮
·采用LV-LH50PC前置燈箱,其亮度比12V-100W照明器更高提供有力支撐,功耗為一半應用。
·采用燈罩后視鏡并優(yōu)化燈絲尺寸,可在瞳孔平面上實(shí)現(xiàn)有效且均勻的照明品率,這在光學(xué)系統(tǒng)中至關(guān)重要相貫通。與標(biāo)準(zhǔn)12V-100W照明器相比,放大50倍或更高的物鏡可提高20%的亮度積極影響。
·采用環(huán)保設(shè)計(jì)自動化方案,減少熱引起的散焦。


電動通用鼻輪比傳統(tǒng)機(jī)型耐用三倍
• 多可安裝六個物鏡越來越重要。
•可在三個鼻輪位置(僅L300N/L300ND)使用定心機(jī)構(gòu)線上線下。
•即使在高放大率下,改進(jìn)的中心度也可以≤限度地減少物鏡改變時(shí)的圖像偏移近年來。這使得從高到低的放大率可以進(jìn)行穩(wěn)定的觀察講道理。
•為了保護(hù)操作員的眼睛,當(dāng)鼻輪旋轉(zhuǎn)時(shí)技術先進,防閃光機(jī)構(gòu)接合更多的合作機會。

抗靜電涂層可有效防止污染
·防靜電涂層已應(yīng)用于機(jī)身、載臺認為、目鏡管和其他各種控制裝置服務好。這些涂層加強(qiáng)了對污染的防護(hù),有助于防止靜電電荷對樣品造成損壞提高鍛煉,從而提高產(chǎn)量發展邏輯。
 
傾斜式三目目鏡管,用于在 佳眼點(diǎn)水平進(jìn)行觀察
·超寬25 mm視場有所提升,目鏡角度在0°和30°之間調(diào)整
·允許操作員調(diào)整眼點(diǎn)水平聽得進,以確保舒適的觀察位置


X-Y精細(xì)移動控制
·X-Y精細(xì)移動控制裝置位于操作員附近。
·所有控制裝置都位于彼此附近先進水平,可以輕松地進(jìn)行載臺運(yùn)動和聚焦便利性。


使得目標(biāo)物更容易被聚焦
·在光路中插入聚焦目標(biāo),可以輕松準(zhǔn)確地聚焦低對比度樣品重要平臺,如裸晶圓深刻認識。


位于顯微鏡前部的控制裝置
·主控制旋鈕和按鈕位于顯微鏡前部,便于操作應用提升。
·可以在觀察樣品的同時(shí)快速輕松地進(jìn)行顯微鏡操作主動性。
·盡量減少長時(shí)間觀察導(dǎo)致的疲勞創造性。

 
提高顯微系統(tǒng)和數(shù)碼相機(jī)的功能性
優(yōu)化工作流觀察、圖像捕獲和分析
 
·尼康同時(shí)開發(fā)了顯微鏡道路、數(shù)碼相機(jī)和成像軟件規模設備,使其能夠開發(fā)出功能強(qiáng)大、易于使用的數(shù)字成像顯微鏡系統(tǒng)指導。
·支持圖像流的所有方面競爭力,包括設(shè)置 佳觀看條件、數(shù)字圖像捕獲進一步完善、處理和分析集聚。

 

 


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