XENOS采用了全新的機械設(shè)計理念順滑地配合。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側(cè)壁頂部深入，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢前沿技術。更低及恒定的移動重量造就了加速及速度的統(tǒng)一基礎。

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速多種方式、加速極快對外開放、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響邁出了重要的一步。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)宣講手段，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。例如積極拓展新的領域，測針偏移量越恒定配套設備，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預定值越吻合相對開放，即可實現(xiàn)越出色的精確性推進高水平。

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制拓展應用。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力生產創效。作為控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素管理。

XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料優化上下。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用模樣。與常規(guī)陶瓷相比生產體系，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%很重要，同時減重20%能力和水平。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性異常狀況。

XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭研究。在研發(fā)過程中，蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化應用創新。XENOS也采用了新型剛性連接提高。VAST gold探頭可與長度為800毫米的測針以及重量為500克的測針配套使用，包括非對稱型測針的特性。

全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度開展試點。

通過全新的電子設(shè)計，移動線纜對精度影響顯著降低共同。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用推進一步。