• 設(shè)備簡(jiǎn)介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要包含兩種功能大力發展，一種用于材料的熔化提純豐富內涵，一種用于材料的定向凝固。

二產能提升、主要技術(shù)參數(shù)： 1適應性、*高溫度：16 5 0℃   2節點、線圈升降行程：150毫米，采用 伺服 電機(jī)驅(qū)動(dòng)落地生根，升降速度可調(diào)節(jié) 的特點，分為快速和慢速   3、坩堝升降行程：150毫米建設項目，采用 伺服 電機(jī)驅(qū)動(dòng)最為突出，升降速度可調(diào)節(jié) 落實落細，分為快速和慢速   4相結合、石墨坩堝尺寸：φ40*60㎜   5、感應(yīng)電源振蕩功率：15K W 製高點項目，電源電壓 38 0V

1. 采用 鎢錸熱偶監(jiān)測(cè) 溫 度為產業發展，通過(guò)電流調(diào)節(jié)溫度
2. 可抽真空與充保護(hù)氣氛

• 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介

感應(yīng)區(qū)熔及晶體生長(zhǎng)裝置主要由感應(yīng)加熱裝置，坩堝及保溫裝置有所增加、密封石英管裝置各項要求、區(qū)熔裝置、定向凝固裝置越來越重要的位置、真空裝置新技術、保護(hù)氣氛裝置、測(cè)溫裝置順滑地配合、支架及操作臺(tái)裝置 與 可視化控制系統(tǒng)組成深入。

1. 感應(yīng)加熱裝置：由一臺(tái) 振蕩功率 15k W ，振蕩頻率 30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
2. 坩堝及保溫裝置：由一只石墨坩堝前沿技術，一種石英陶瓷保溫套全會精神、 氮化硼 保溫底座和保溫蓋組成，保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?/span> 8 00℃拓展基地；保溫蓋開(kāi)有觀察孔集中展示，可觀察到 熔液 狀態(tài)。
3. 密封石英管裝置：由一根石英管體系流動性，兩套密封法蘭組成探索創新，采用硅膠密封圈密封，局部帶水冷實現了超越，密封法蘭上帶各種接口新產品，方便其他裝置接入。
4. 區(qū)熔裝置：由 伺服 電機(jī)相對開放、減速機(jī)推進高水平、線性模組和連接塊組成，帶動(dòng)線圈沿著石英管上下移動(dòng)拓展應用，速度可調(diào)節(jié)生產創效，實(shí)現(xiàn)區(qū)熔目的結構。
5. 定向凝固裝置 ：從石英管底部密封法蘭處引入，帶動(dòng)密封結(jié)構(gòu)優化上下，留有熱偶接口能力建設， 由步進(jìn)電機(jī)、減速機(jī)生產體系、線性模組和連接塊帶動(dòng)坩堝實(shí)現(xiàn)上下升降目的服務，實(shí)現(xiàn)定向凝固功能。
6. 保護(hù)氣氛裝置：石英管底部密封法蘭留有充氣接口能力和水平，帶閥門和進(jìn)氣接口覆蓋，石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門，并裝有安全閥研究，防止氣壓過(guò)高損壞元件
7. 測(cè)溫裝置：從定向凝固移動(dòng)管中接入高效，可直接跟石墨坩堝接觸，測(cè)量石墨坩堝溫度提高，并能根據(jù)溫度 手動(dòng) 調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率機構。
8. 支架及操作臺(tái)裝置：采用型材與板材拼接而成，人性化設(shè)計(jì)交流，操作方便基礎，占地空間小。
9. 可視化控制系統(tǒng)：采用 PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng)形勢，實(shí)現(xiàn)可視化操作實踐者，操作直觀方便。還可實(shí)時(shí)記錄各種實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)并下載到PC端選擇適用，方便用戶調(diào)整工藝數(shù)據(jù)管理。