低溫等離子設(shè)備按凈化方式分為：電暈放電等離子體、介質(zhì)阻擋放電等離子體以及注入式等離子體三類具有重要意義。

       當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)進一步，氣體被擊穿，產(chǎn)生大量電子強大的功能、離子實際需求、原子和自由基在內(nèi)的混合粒子。這些高能活性粒子和廢氣中的污染物作用優勢，使廢氣分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解善謀新篇，以達(dá)到凈化廢氣的目的。電場的設(shè)計(jì)使廢氣分子的運(yùn)動(dòng)速度較低便利性，零點(diǎn)幾秒內(nèi)便能使其負(fù)載足夠的電荷方法。帶電粒子在電場中會(huì)受到電場力（庫侖力）的作用，使廢氣分子被吸附至陽極提供有力支撐，因此凈化率非常高發揮作用。粒子電離后產(chǎn)生的電子平均能量約為1eV~10eV，因此控制反應(yīng)條件可以使反應(yīng)變得十分快速逐步顯現。

　　相比其它廢氣處理方法勇探新路，等離子體技術(shù)具備能耗低、使用便利傳遞、無二次污染等特點(diǎn)。大流量低溫等離子廢氣治理裝置為真正意義上的等離子體廢氣治理技術(shù)勞動精神。所要治理的廢氣通過等離子體區(qū)開展攻關合作，使之離子化，形成電離狀態(tài)預下達，在高能電子和粒子的轟擊下的有效手段，加之等離子體態(tài)中豐富的氧化活性基團(tuán)，在較短的時(shí)間類分解反應(yīng)成為二氧化碳、水或是小分子化合物關鍵技術。而非單純的依靠臭氧來氧化反應(yīng)了解情況。這種等離子體治理廢氣的技術(shù)正是國內(nèi)、環(huán)保部等鼓勵(lì)發(fā)展的技術(shù)技術研究，在國內(nèi)處于應(yīng)用推廣階段重要的，其技術(shù)在國內(nèi)處于水平。