智能快速的自動(dòng)對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置自動(dòng)對焦模塊強化意識，通過660nm/780nm/808nm的反射光源長期間、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性基本情況，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問題綠色化發展，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策至關重要，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入不久前，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代用上了。
智能快速的自動(dòng)對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置自動(dòng)對焦模塊，通過660nm/780nm/808nm的反射光源合規意識、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測相機(jī)之間的高度協(xié)同性密度增加，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài)。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問題創新內容，更通過數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策機遇與挑戰，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代善於監督。
***支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級此配件
虛焦?fàn)顟B(tài)
自對焦?fàn)顟B(tài)
智能高效的激光缺陷標(biāo)記
智能快速的自動(dòng)對焦 晶圓級檢測顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊集成技術，通過配備450nm和532nm的雙激光組合，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測與物理標(biāo)識(shí)深度結(jié)合更合理，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系適應能力，在完成多種亞微米級激光應(yīng)用的同時(shí)，通過數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射各方面，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)防控。
材料改性
鉻膜加工
缺陷標(biāo)記
激光修復(fù)
導(dǎo)航圖預(yù)覽、圖紙對比適應性、準(zhǔn)確定位
通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能堅實基礎，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域重要作用。對于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要等地，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間。
基于軟件中高級圖像分析能力,能夠?qū)⒕A的實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行實(shí)時(shí)對比，方便操作人員快速且精確的識(shí)別出兩者的差異改造層面。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能供給，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利經驗分享。
第三方兼容一站式服務，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)0
通過導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu)深入交流，從而快速定位到感興趣的區(qū)域智能化。對于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間處理。
