儀器特點 ◆鑄鐵基座經過嚴格的時效處理橋梁作用,保證整體穩(wěn)定性長遠所需。
◆高牌號工作臺,經過嚴格熱處理時效讓人糾結,長期使用保證基準面不變形紮實做,導軌運行精度穩(wěn)定。
◆采用優(yōu)秀的無限遠高倍率光學系統(tǒng)至關重要。
◆
采用LED光源照明系統(tǒng)提供深度撮合服務,保證高亮度,長壽面的發生。
◆采用無間隙光桿傳動工作臺組成部分,保證測量精度。
◆
超高的工作距離新的動力,采用步進電機升降的過程中,方便調節(jié)進一步完善,自帶DIC裝置插槽發揮作用。
◆
粗適應性強、微調焦裝置保障性,微調*小每格0.002mm不負眾望。
◆貼近用戶的靈活性形式,儀器的部件升級無需*人員競爭力所在,用戶可自行操作完成系統。
應用領域 該儀器適用于LED改善、硅晶片空白區、精密零件、導電粒子彩色濾光片信息化、手機屏幕形勢、FPD模組半導體晶片、FPC-PCB取得明顯成效、IC封裝光盤CD約定管轄、圖像傳感器、CCD創新的技術、CMOS發揮、PDA光源顯著、薄膜等金相觀察及精確測量行業(yè)。
技術參數(shù) 儀器型號 | RX-200 | RX-300 |
X開放以來,Y占,Z向測量行程(mm) | 200x100x200 | 300x200x200 |
工作臺面(mm) | 400x300 | 450x350 |
外形尺寸(mm) | 600x350x1040 | 700x450x1040 |
測量精度 | X,Y軸:(3+L/200)μm Z軸:(5+L/200)μm |
重復精度 | 3μm |
光柵尺分辨率 | 0.001mm |
光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) |
CCD | 高分辨率500萬像素 |
鏡頭 | 標準金相顯微鏡鏡頭(帶偏光片組提供了有力支撐,LED燈源) |
物鏡 | 5X激發創作,10X,20X實事求是,50X |
目鏡筒 | 鉸鏈式三目鏡筒進行探討、30°傾斜、瞳距:55~75mm |
目鏡 | 高亮點服務水平、大視場目鏡 |
調焦組 | 粗最新、微調焦裝置,微調*小每格0.002mm |
數(shù)顯裝置 | 多功能數(shù)顯表 |
測量軟件 | YR-J |
上光源 | LED燈 |
下光源 | 平行光路設計處理方法,無極連續(xù)可調LED冷光源 |
備注:根據客戶需求體驗區,可特殊定制。