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光學(xué)3D表面輪廓儀

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一新技術、 產(chǎn)品描述

  SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理順滑地配合、結(jié)合精密Z向掃描模塊深入、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析前沿技術,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D基礎、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器影響力範圍。

 

  SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測先進技術、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工不合理波動、微納材料及制造宣講手段、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天積極拓展新的領域、工配套設備、科研院所等領(lǐng)域中∠鄬﹂_放?蓽y各類從超光滑到粗糙推進高水平、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度拓展應用、平整度生產創效、微觀幾何輪廓、曲率等管理,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D優化上下、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二模樣、    產(chǎn)品功能

1)    一體化操作的測量與分析軟件生產體系,操作無須進(jìn)行切換界面服務,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能能力和水平,即可快速實現(xiàn)批量測量功能覆蓋。

2)     測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量研究、自動聚焦高效、自動調(diào)亮度等自動化功能。

3)     測量中提供拼接測量功能深化涉外。

4)     分析中提供調(diào)整位置體系、糾正生產製造、濾波開展試點、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平共同、鏡像等功能推進一步;糾正包括空間濾波、修描簡單化、尖峰去噪等功能選擇適用;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波設計、過濾頻譜等功能業務指導;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

5)     分析中提供粗糙度分析就此掀開、幾何輪廓分析長足發展、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析穩步前行、功能分析等五大分析功能結構不合理,其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度逐步改善、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能意見征詢;幾何輪廓分析包括臺階高、距離大大提高、角度的必然要求、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能取得了一定進展;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等完善好;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能可能性更大。

6)     分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能部署安排,設(shè)置分析模板搖籃,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能推廣開來。

三推動、    應(yīng)用領(lǐng)域

  對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度資源配置、粗糙度信息、波紋度、面形輪廓大力發展、表面缺陷豐富內涵、磨損情況、腐蝕情況產能提升、孔隙間隙適應性、臺階高度、彎曲變形情況充分發揮、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析發展成就。

應(yīng)用范例:

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片重要方式、晶圓IC

3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度開展面對面、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差

超精密加工.光學(xué)透鏡

精密加工.發(fā)動機(jī)葉片

精密加工.金字塔型金剛石磁頭

標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階非常重要、多刻線粗糙度

 

四進一步提升、性能特色

1、  高精度營造一處、高重復(fù)性

1)   采用光學(xué)干涉技術(shù)改革創新、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高資源優勢;

2)   的隔振系統(tǒng)高效利用,能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲估算,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用講理論,獲得的測量重復(fù)性;

2不要畏懼、  一體化操作的測量分析軟件

1)  測量與分析同界面操作服務為一體,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計逐漸顯現,實現(xiàn)了快速批量測量的功能全會精神;

2)  可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;

3)  結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能集中展示,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程實力增強;

4)  幾何分析、粗糙度分析探索創新、結(jié)構(gòu)分析帶來全新智能、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全新產品;

5)  一鍵分析去完善、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板長遠所需,批量樣品一鍵分析範圍,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;

6)  可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D紮實做、3D參數(shù)空間廣闊。

3、  精密操縱手柄

  集成X、Y雙重提升、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄戰略布局,可快速完成載物臺平移事關全面、Z向聚焦、找條紋等測量前工作狀態。

4技術節能、  雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

  既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作廣泛認同。

 

附錄1.依據(jù) ISO/ASME/EUR/GBT等國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)計算的2D國際要求,3D參數(shù)表:

2D參數(shù)表

標(biāo)準(zhǔn)名

參數(shù)

ISO 4287-1997

 

主剖面

粗糙度

波紋度

振幅參數(shù)

Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku

間距參數(shù)

PSm,Pdq

RSm,Rdq

WSm,Wdq

物料比參數(shù)

Pmr,Pdc

Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

峰值參數(shù)

PPc

RPc

WPc

ISO 13565

ISO 13565-2

Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

ISO 12085

粗糙度圖形參數(shù)

R,AR,R× ,Nr

波紋度圖形參數(shù)

W,AW,W×,Wte

其他圖形參數(shù)

Rke,Rpke,Rvke

AMSE B46.1

2D參數(shù)

Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

DIN EN ISO 4287-2010

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

JIS B0601-2013

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

GBT 3505-2009

原始輪廓參數(shù)

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度參數(shù)

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波紋度參數(shù)

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

 

3D參數(shù)表

標(biāo)準(zhǔn)名

參數(shù)

ISO 25178

高度參數(shù)

Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa

函數(shù)參數(shù)

Smr,Smc,S×p

空間參數(shù)

Sal,Str,Std

復(fù)合參數(shù)

Sdq,Sdr

體積參數(shù)

Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv

形態(tài)參數(shù)

Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv

功能參數(shù)

Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq

ISO 12781

平面度參數(shù)

FLTt,FLTp,FLTv,FLTq

EUR 15178N

振幅參數(shù)

Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St

空間參數(shù)

Str,Std,Sal

復(fù)合參數(shù)

Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd

面積體積參數(shù)

Smr,Sdc

函數(shù)參數(shù)

Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq

功能性指標(biāo)參數(shù)

Sbi,Sci,Svi

EUR 16145 EN

振幅參數(shù)

Sa,Sq鍛造,Sy競爭激烈,Sz,Ssk改善,Sku

混合參數(shù)

Ssc空白區,Sdq,Sdr

功能性指標(biāo)

Sbi信息化,Sci形勢,Svi,Sk取得明顯成效,Spk約定管轄,Svk

空間參數(shù)

Sds,Std,Stdi發揮,Srw顯著,Srwi

硬度參數(shù)

Hs,Hvol開放以來,Hv今年,Hps,Hpvol結構不合理,Hpv組建,Hap,Hbp

ASME B46.1

3D參數(shù)

St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt

 

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要效果較好,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改重要的意義,恕不另行通知,不便之處敬請諒解等多個領域。


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