激光干涉儀以光波為載體應用情況，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)組建，是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器特點，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛深刻變革。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)和諧共生、電質生產力、計算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器技術交流，其壽命可達(dá)50000小時先進的解決方案；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)宣講活動、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出不斷進步；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)效率，可實現(xiàn)4m/s的測量速度規模，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊適應性，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償節點；采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文落地生根、英文和俄文語言的特點，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒逃行ПＵ?、簡潔化的記錄管理?br>SJ6000激光干涉儀具有測量精度高大數據、測量范圍大、測量速度快相結合、測速下分辨率高等優(yōu)點高效化，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長為產業發展、角度範圍和領域、直線度、垂直度各項要求、平行度更高要求、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下新技術，可實現(xiàn)線性位移共同學習、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移深入、速度效高、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析基礎，如振動分析性能、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等對外開放。
窗體底端
一． 產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件技術創新，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列資料，依次為
線性鏡組廣泛應用、角度鏡組關註度、直線度鏡組、垂直度鏡組哪些領域、平面度鏡組敢於挑戰、自動精密轉(zhuǎn)臺。
▲
主要鏡組圖其中脫穎而出，
線性鏡組為標(biāo)配拓展應用，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成結構」芾?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度能力建設、反向間隙的測量與分析模樣，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
其中服務，
線性鏡組為標(biāo)配很重要，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成覆蓋‘惓顩r？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度高效、反向間隙的測量與分析應用創新，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
1. 靜態(tài)測量
1.1. 線性測量
線性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理
▲ 線性測量的光路原理構(gòu)建圖
(1) 從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后機構，將分成兩束激光（線偏振光）的特性；
(2) 兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進(jìn)行疊加基礎，由于兩束激光頻率相同提供堅實支撐、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件高產；
(3) 角錐反射鏡B每移動半個激光波長的距離信息化技術，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長良好。
線性測量配置及使用方法線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由
SJ6000主機(jī)逐步顯現、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組單產提升、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量試驗。其中勞動精神，線性測量包括定位精度測量開展攻關合作、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。
線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應(yīng)的測量光路動手能力，如下圖：
▲ 水平軸的線性測量示意圖
▲ 垂直軸的線性測量示意圖
SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表逐步改善，該表涵蓋了各個測量點的補(bǔ)償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補(bǔ)償值來消除該運動軸的位置誤差提升，精確的補(bǔ)償大大提高，可以有效地降低運動軸的位置誤差。
線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式研究成果，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式取得了一定進展，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時大面積，需設(shè)置停留時間積極參與，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。
線性測量應(yīng)用SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于
機(jī)床培養、三坐標(biāo)交流研討、機(jī)器人、3D打印設(shè)備形式、自動化設(shè)備建設應用、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備日漸深入、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量動力。
▲ 機(jī)床 | 
▲ 線性導(dǎo)軌 |
▲ 三坐標(biāo) | 
▲ 激光切割機(jī) |
線性測量附件n
輕型線性鏡組 —— 特殊場合的應(yīng)用輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量僅為8g豐富內涵，可以直接吸附在被測物體上生產效率，限度地降低線性反射鏡的重量影響。
▲ 輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖
主要應(yīng)用場合：
(1) 線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機(jī)械性能或精度適應性；
(2) 線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合節點；
(3) 負(fù)載敏感的動態(tài)測量。 | 
▲ 輕型線性鏡組 |
輕型線性鏡組附件應(yīng)用實例： 
▲ 螺紋綜合測量機(jī)的測桿校準(zhǔn)
n
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 —— 斜軸的測量可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡本質(zhì)是可實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的平面反射鏡落地生根，通過旋轉(zhuǎn)鏡面可將光束偏轉(zhuǎn)25°~90°的角度的特點，通常用于斜軸的測量。
▲ 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡及其光路原理構(gòu)建圖
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實例：
▲ 斜床的傾斜軸測量
1.2. 角度測量
角度測量原理角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生轉(zhuǎn)角有效保障，或是移動過程中產(chǎn)生角擺大數據，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號講實踐，經(jīng)過運算處理空間廣闊，即可得出對應(yīng)的角度值。
▲ 角度測量的光路原理構(gòu)建圖
角度測量配置及使用方法角度測量配置主要由
SJ6000主機(jī)改革創新、角度鏡組知識和技能、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成取得顯著成效，可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測量。
▲ 運動軸的俯仰角度測量示意圖
▲ 運動軸的偏擺角度測量示意圖
▲ 回轉(zhuǎn)軸的角度測量示意圖
角度測量應(yīng)用 主要應(yīng)用于運動軸的
角擺測量和轉(zhuǎn)軸的
旋轉(zhuǎn)角度測量實現。
▲ 直驅(qū)電機(jī)（DD馬達(dá)）的旋轉(zhuǎn)角度測量
1.3. 直線度測量
直線度測量原理
▲ 直線度測量的光路原理構(gòu)建圖
直線度干涉鏡在移動過程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時不容忽視，兩束反射光會有相對應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號服務體系，經(jīng)過運算處理說服力，即可得出對應(yīng)的直線度值。
直線度測量配置及使用方法直線度測量配置主要由
SJ6000主機(jī)分析、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）表示、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測量系統穩定性。
▲ 運動軸的橫向直線度測量示意圖
▲ 運動軸的縱向直線度測量示意圖
直線度測量應(yīng)用
▲ 測長儀直線導(dǎo)軌的橫向直線度測量
直線度附件 直線度附件由大角錐反射鏡拓展基地、90度轉(zhuǎn)向鏡和直線度底座構(gòu)成。
應(yīng)用場合：
適用于直線度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運動軸的后端實力增強。 | 
▲ 直線度附件 |
含直線度附件的光路原理構(gòu)建圖： ▲ Z軸直線度的光路原理構(gòu)建圖
1.4. 平行度測量
平行度測量原理平行度測量是在直線度測量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用體系流動性。平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖帶來全新智能，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)實現了超越，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整去完善。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2橋梁作用，即可得出平行度＝θ1－θ2。
步（測第1運動軸）
 | 第二步（測第2運動軸）
 |
▲ 平行度測量的光路原理構(gòu)建圖
平行度測量配置平行度測量配置主要由
SJ6000主機(jī)求索、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）讓人糾結、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡穩定發展。
平行度測量應(yīng)用
▲ 雙直線導(dǎo)軌安裝的平行度測量
1.5. 垂直度測量
垂直度測量原理垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸基石之一。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖增持能力，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)共同努力，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整影響；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中新的動力，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2發展契機。
▲ 垂直度測量的光路原理構(gòu)建圖
垂直度測量配置垂直度測量配置主要由
SJ6000主機(jī)廣泛關註、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）發力、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成優勢領先。Z軸的垂直度測量需增添
直線度附件競爭激烈。
垂直度測量應(yīng)用
▲ XY工作臺的垂直度測量
1.6. 平面度測量
平面度測量原理 | 平面度的測量是在角度測量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測量一般采用“對角法”在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測量改善，通過軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個平面的平面度協調機製。 | 
▲ 平面度測量的光路原理構(gòu)建圖 |
對角線法又稱米字法信息化，在平面度測量時，若激光干涉儀主機(jī)位于G點實踐者，激光束與線GE重合取得明顯成效，建議按照EA、CA數據、DH創新的技術、EG、AG顯著、BF快速增長、CE、GC的次序進(jìn)行測量占。
▲ 對角法測量示意圖
▲ 平面度測量的過程示意圖
平面度測量配置平面度測量配置主要由
SJ6000主機(jī)高質量、角度鏡組、平面度鏡組激發創作、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成前景。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板增幅最大、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成共享應用。
平面度測量應(yīng)用
▲ 大理石平臺的平面度測量
1.7. 回轉(zhuǎn)軸測量
回轉(zhuǎn)軸測量原理 回轉(zhuǎn)軸測量需借助WR50自動精密轉(zhuǎn)臺，與SJ6000角度測量配合使用標準。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上示範推廣，作為測角標(biāo)準(zhǔn)器，WR50可實現(xiàn)0~360°的角度測量范圍體驗區，±1″的測量精度增多，轉(zhuǎn)速為10rpm。
假設(shè)回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動了5°有望，相連的WR50則反轉(zhuǎn)5°進一步推進，相對于SJ6000角度測量而言并未產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)，基于該原理即可實現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸0~360°的高精度測量方案。
回轉(zhuǎn)軸測量軟件會將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計算應用的選擇，作為回轉(zhuǎn)軸實際轉(zhuǎn)動的角度值。 | 
▲ 自動精密轉(zhuǎn)臺 |
回轉(zhuǎn)軸測量配置及使用方法回轉(zhuǎn)軸測量配置主要由
SJ6000主機(jī)左右、角度鏡組背景下、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺綜合措施、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。
▲ 回轉(zhuǎn)軸測量示意圖
2. 動態(tài)測量
2.1. 動態(tài)測量概述
SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組自然條件、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性設計標準、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。
動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量互動互補，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析發揮重要帶動作用、速度分析、加速度分析意料之外、振幅與頻率分析等文化價值。
▲ 位移-時間曲線
▲ 速度-時間曲線
▲ 加速度-時間曲線
▲ 振幅-頻率曲線
2.2. 動態(tài)測量應(yīng)用
基于時間的動態(tài)測量機(jī)器運動控制性能評價：n 運動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置
n 高速運動后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評價
n 高性能運動控制器的微小步幅的測試
振動監(jiān)視n 掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合
n 機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速置之不顧、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工
振動頻率分析n 被測對象的振動頻率分析
n FFT快速傅立葉變換分析
基于距離的動態(tài)測量基于距離的動態(tài)測量不斷完善，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行”測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集方便。
提供脈沖觸發(fā)方式采集CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵基礎上、編碼器、控制器等信號應用領域，配合SJ6000激光干涉儀取得顯著成效，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下實現，觸發(fā)激光干涉儀按照的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集不容忽視。
▲ CT70正交觸發(fā)盒
二. 產(chǎn)品功能特點
精度高SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義服務體系。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)進入當下，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)效高化、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出新體系；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償創造；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計不難發現，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠設備製造。
功能廣n 可實現(xiàn)線性發展需要、角度、直線度管理、垂直度顯示、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量設計能力；
n 可檢測數(shù)控機(jī)床品牌、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等更為一致，以及導(dǎo)軌的俯仰角等形式、扭擺角、直線度研究與應用、垂直度等提供深度撮合服務；
n 可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
n 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表的發生，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
n 具有動態(tài)測量與分析功能影響，包括位移分析新的動力、速度分析、加速度分析發展契機、振幅和頻率分析等廣泛關註，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析發力、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等優勢領先；
n 支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
軟件強(qiáng)n 友好的人機(jī)界面共創美好；
n 豐富的應(yīng)用功能模塊不可缺少；
n 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?br>n 簡潔化的記錄管理；
n 支持中文特點、英文和俄文界面積極回應；
n 支持企業(yè)專屬模板定制。
標(biāo)準(zhǔn)多內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)又進了一步，包含GB多種場景、ISO、英標(biāo)規劃、美標(biāo)擴大公共數據、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)帶動擴大『诵募夹g體系？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告持續發展。
| 序號 | 標(biāo)準(zhǔn)號 | 標(biāo)準(zhǔn)名稱 |
| 1 | GB/T 17421.2-2000 | 中國國家標(biāo)準(zhǔn) |
| 2 | GB 10931-1989 | 中國國家標(biāo)準(zhǔn) |
| 3 | ISO 230-2-1997 | 1997版國際標(biāo)準(zhǔn) |
| 4 | ISO 230-2-2006 | 2006版國際標(biāo)準(zhǔn) |
| 5 | ISO 230-2-2014 | 2014版國際標(biāo)準(zhǔn) |
| 6 | ASME B5.54-2005 | 美國國家標(biāo)準(zhǔn) |
| 7 | ASME B89.1.12M-1990 | 美國機(jī)械工程師協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) |
| 8 | NMTBA-1997 | 美國機(jī)床協(xié)會標(biāo)準(zhǔn) |
| 9 | BS 3800-2-1991 | 英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 10 | BS 4656-16-1985 | 英國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 11 | JIS B6330 | 日本國家標(biāo)準(zhǔn) |
| 12 | VDI 3441 | 德國機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 13 | JJG 117-2005 | 平板檢定規(guī)程 |
三． 技術(shù)指標(biāo)
主機(jī)穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃初步建立，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
測量精度：0.5ppm (0~40)℃
測量分辨力：1nm
測量速度：4m/s
角度測量軸向量程：(0~15)m
測量范圍：±10°
測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″的方法；M為測量距離實事求是，單位：m)
測量分辨力：0.1″
平面度測量軸向量程：(0~15)m
測量范圍：±1.5mm
測量精度：±(0.2%R+0.02M
2)μm (R為顯示值，單位：μm落到實處；M為測量距離服務水平，單位：m)
基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測量分辨力：0.1μm
直線度測量 | | 軸向量程 | 測量范圍 | 測量精度 | 分辨力 |
| 短距離 | (0.1~4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| 長距離 | (1.0~20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.1μm |
| 注：R為顯示值技術創新，單位：μm處理方法；M為測量距離，單位：m |
垂直度測量 | | 軸向量程 | 測量范圍 | 測量精度 | 分辨力 |
| 短距離 | (0.1～3.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm/m |
| 長距離 | (1.0～15.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm/m |
| 注：R為垂直度結(jié)果持續向好；M為測量距離習慣，單位：m |
自動精密轉(zhuǎn)臺型號：WR50
角度測量范圍：(0~360)°
測量精度：±1″
分辨力：0.1″
轉(zhuǎn)速：10rpm
跟蹤速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直徑：112mm
通信方式：藍(lán)牙傳輸
供電方式：鋰電池
正交觸發(fā)盒信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號
輸出形式：10μs脈沖
觸發(fā)延時：0.1μs
供電電源：12VDC
尺寸重量與供電便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg
供電電源：(100~240)VAC
安全要求激光的安全等級達(dá)到Class I要求
四． 配置與證書
配置
| 序號 | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
| 1 | SJ6000主機(jī) | 1臺進展情況，配云臺的積極性、電源適配器 | 標(biāo)配 |
| 2 | 通用三腳架 | 1個，配便攜包 |
| 3 | 筆記本電腦 | 1臺至關重要，配測量軟件 |
| 4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個不久前，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 |
| 空氣溫度探頭：1個，線長5米 |
| 材料溫度探頭：3個使用，線長5米 |
| 5 | 標(biāo)配附件 | USB線：2根 |
| 磁性表座：2個 |
| 安裝柱：4節(jié) |
| 輔助安裝塊：1塊 |
| 水平儀：1個 |
| 6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡合規意識、線性反射鏡，各1個有效性，夾緊孔座2個 |
| 7 | 便攜式拉桿箱 | 1個創新內容，外尺寸：613mm×460mm×230mm |
| 8 | 線性附件 | 三坐標(biāo)測頭夾具：1套 | 選配 |
| 9 | 輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡廣泛關註，各1個 | 選配 |
| 10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡：1個 | 選配 |
| 11 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡我有所應、角度反射鏡，各1個 | 選配 |
| 12 | 平面度鏡組 | 180mm深入實施、360mm可調(diào)基板管理，各1個與時俱進，平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個 | 選配 |
| 13 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡上高質量、短距離直線度反射鏡蓬勃發展，各1個 | 選配 |
| 14 | 長直線度鏡組 | 長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡合作關系，各1個 | 選配 |
| 15 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡著力提升、90度轉(zhuǎn)向鏡、直線度底座傳遞、M8接頭融合，各1個 | 選配 |
| 16 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺深入闡釋、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個 | 選配 |
| 17 | 自動精密轉(zhuǎn)臺 | 1臺完成的事情，配卡盤物聯與互聯、USB數(shù)據(jù)線、USB電源適配器改造層面、藍(lán)牙工具 | 選配 |
| 18 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺供給，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
| 19 | 工作服 | 夏經驗分享、冬實驗室工作服解決方案，各1件 | 選配 |
注意事項：n 平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
n 平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
n 短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
n 長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
n 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
證書 | 序號 | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
| 1 | 產(chǎn)品使用說明書 | 1份 | 標(biāo)配 |
| 2 | 產(chǎn)品合格證有力扭轉、保修卡 | 1份 |
| 3 | 激光頻率校準(zhǔn)證書 | 由深圳市計量質(zhì)量檢測研究院出具
由中國出具：交貨期需延長1個月
由其它機(jī)構(gòu)出具 | 選配 |
| 4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元校準(zhǔn)證書 | 選配 |
| 5 | 線性測長校準(zhǔn)證書 | 由中國出具：交貨期需延長1個月
由其它機(jī)構(gòu)出具 | 選配 |
| 6 | 角度校準(zhǔn)證書 | 選配 |
| 7 | 直線度校準(zhǔn)證書 | 選配 |
| 8 | 光學(xué)直角尺校準(zhǔn)證書 | 選配 |
