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- 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 武漢市
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/14 16:26:08
- 訪問次數(shù) 72
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RTP-3-08系列自立式8吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫高品質,可用于快速熱處理(RTP)落地生根、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)健康發展、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導(dǎo)體工藝有效保障。
RTP-3-08的產(chǎn)品特點(diǎn)
可測大尺寸樣品:可測單晶片樣品的尺寸為8英寸(200mm)。
壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì):高精度控制壓力長效機製,以滿足不同的工藝要求講實踐。
存儲熱處理工藝:方便工藝參數(shù)調(diào)取飛躍,提高實(shí)驗(yàn)效率堅定不移,數(shù)據(jù)可查詢創新科技。
快速升溫:升溫速率可達(dá)150℃/s範圍。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展:可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制,進(jìn)行降溫段的自動轉(zhuǎn)接合理需求,并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存大力發展,方便調(diào)用逐步顯現。采用MFC精確控制氣體流量更默契了,最多可支持4路氣體組織了,實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境(真空、惰性氣氛說服力、氧氣搶抓機遇、氫氣、混合氣等)下的熱處理表示。
全自動智能控制:采用全自動智能控制全面闡釋,包括溫度、時(shí)間競爭力所在、氣體流量引人註目、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動控制溝通機製。
超高安全系數(shù):采用爐門安全溫度開啟保護(hù)好宣講、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施,保障設(shè)備使用安全實現了超越。
分區(qū)控溫:分區(qū)域控制加熱功率新產品,提高溫度均勻性去完善。
國產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力橋梁作用,能快速反應(yīng)客戶售后需求長遠所需。
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