XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)探討。這一測量機(jī)的測量精度達(dá)到技術(shù)限不負眾望，其測量范圍近1立方米。
創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)

XENOS采用了全新的機(jī)械設(shè)計(jì)理念明確相關要求。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁部重要意義，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱的勢深化涉外。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速度的完好統(tǒng)一體系。

所有軸均采用線性驅(qū)動

XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動生產製造。其點(diǎn)：高速、加速快攜手共進、定位精度高共同、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)經過，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的高定位精度簡單化。例如，測針偏移量越恒定解決方案，即可獲得更佳的測量精度優勢。于測量曲面時(shí)更顯見另一勢：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)越良好的準(zhǔn)確性增產。

虛擬驅(qū)動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)便利性，得益于蔡司新的驅(qū)動技術(shù)可實(shí)現(xiàn)佳的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置完好分布驅(qū)動力行動力。作為新控制系統(tǒng)及算法之完好結(jié)合提供有力支撐，這是在整個(gè)測量范圍內(nèi)獲得佳測量精度及運(yùn)動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。 碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料保供。迄今為止自行開發，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機(jī)器上使用。與常規(guī)陶瓷相比責任，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%應用情況，而剛性則可大提升30%，同時(shí)減重20%組建。與鋼材相比表現，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強(qiáng)型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭深刻變革。在研發(fā)過程中結論，蔡司在測量精度和測量重復(fù)度方面對該探頭進(jìn)行了化。XENOS也采用了新型剛性連接質生產力。VAST gold探頭可與大長度為800毫米的測針以及大重量為500克的測針配套使用技術，包括非對稱型測針。

化的氣浮軸承

全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有更佳的穩(wěn)定性及測量精度推動。

改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)

通過全新的電子設(shè)計(jì)相對較高，移動線纜對精度影響顯著降低。計(jì)算機(jī)輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得大測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用開展研究。