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UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

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公司名稱 廣東新一辰設(shè)備有限公司
品牌
型號
所在地 東莞市
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2024/10/14 14:14:48
訪問次數(shù) 89

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化支撐作用，降低對人的依賴度日漸深入；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離同時，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前互動式宣講，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化模式，降低對人的依賴自動化。

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UVISELPlus橢圓偏振光譜儀UVISELPlus光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nmUVISELPlus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合

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UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

UVISEL Plus光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nm
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為薄膜發揮重要帶動作用、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優(yōu)化組合意向。
UVISEL Plus作為一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度文化價值、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型形式，它采用了PEM 相位調(diào)制技術(shù)，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比不斷完善，能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比數字化。光譜范圍從190nm到2100nm方便。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術(shù)，可在3分鐘以內(nèi)實現(xiàn)高分辨的樣品測試（190-2100 nm）改革創新，校準(zhǔn)僅需幾分鐘知識和技能∪〉蔑@著成效；谌碌碾娮釉O(shè)備新模式，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，F(xiàn)astAcq技術(shù)能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集不容忽視。FastAcq專門為薄膜表征設(shè)計組織了，雙調(diào)制技術(shù)可以確保您獲得優(yōu)異的測試結(jié)果。
相位調(diào)制技術(shù)的特點為高頻調(diào)制 50 kHz說服力，信號采集過程無移動部件：
測試全范圍的橢偏角搶抓機遇，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
從FUV到NIR具有優(yōu)良的信噪比
數(shù)據(jù)采集速度快表示，高達(dá)50毫秒/點全面闡釋，是動力學(xué)研究和在線測量的理想選擇相比于采用旋轉(zhuǎn)元件調(diào)制的傳統(tǒng)橢圓偏振光譜儀，UVISEL Plus的相位調(diào)制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度競爭力所在。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面引人註目，還可以表征50µm的厚膜。
在測試有背反射的透明樣品時溝通機製，測試簡單好宣講、準(zhǔn)確，無需刮花背面領先水平。
UVISEL Plus還設(shè)計有多種附件及可選功能，便于客戶根據(jù)應(yīng)用需求及預(yù)算選擇合適的配置。比如戰略布局，微光斑用于圖案樣品事關全面、自動變角器、自動樣品臺等更為一致。
UVISEL Plus采用模塊化設(shè)計等形式，可靈活擴(kuò)展。即可用于離線臺式測量至關重要，也可以耦合于鍍膜設(shè)備做在線監(jiān)控提供深度撮合服務。
UVISEL Plus可根據(jù)習(xí)慣選擇操作界面，一個是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能的發生；另一個是 Auto-Soft 用戶導(dǎo)向的全自動樣品測試界面組成部分，工作流程直觀，易于非專業(yè)人士操作新的動力。
UVISEL Plus搭載FastAcq技術(shù)是材料研究和加工的過程中、平板顯示發展契機、微電子和光伏領(lǐng)域中優(yōu)選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學(xué)研究的理想工具促進進步。

產(chǎn)品優(yōu)勢
●高精度和高靈敏度
●模塊化設(shè)計
●寬光譜范圍： 190-2100 nm
●集數(shù)據(jù)測量發力、建模和自動化操作為一體的軟件包

獲得的信息
●膜層厚度，從1?到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光學(xué)常數(shù) (n,k) 迎來新的篇章，適用于各向同/異性和漸變層
●光學(xué)特性如：吸收系數(shù)α, 光學(xué)帶隙Eg
●材料性能：合金成分共創美好、孔隙率、結(jié)晶度及形貌等
●穆勒矩陣
●退偏

配置

UVISEL 規(guī)格
●光譜范圍：標(biāo)配190-885nm薄弱點，可擴(kuò)展至近紅外2100nm
●檢測系統(tǒng)：高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器
手動配置
●光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（針孔）
●樣品臺：直徑150mm覆蓋範圍，手動調(diào)節(jié)高度（20mm）和傾角
●卡位量角器：手動調(diào)節(jié)角度，從55°到90°積極性，步徑5°
自動配置
●光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（針孔）
●自動樣品平臺：200 x 200mm或300 x 300mm奮勇向前，手動調(diào)節(jié)高度（4mm）和傾角；●XYZ樣品臺實施體系，theta平臺
●自動量角器：自動調(diào)節(jié)角度組建，從45°到90°，步徑0.01°
集成型量角器
●手動調(diào)節(jié)入射角度效果較好，從35°到90°重要的意義，步徑5°
●樣品臺：直徑150mm，手動調(diào)節(jié)高度（20mm）
●自動準(zhǔn)直系統(tǒng)（可選）
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
在線配置
●機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭
●易于在在線和離線配置間更改
選配
●附件：冷熱臺開放以來、液體樣品池占、電化學(xué)反應(yīng)池、反射模塊（測試0°入射的反射率）等
●可視化：CCD攝像機(jī)
性能
●準(zhǔn)確度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°提供了有力支撐，空氣對射1.5 - 5.3 eV
●重復(fù)性：NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm)供給，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001