基本介紹： 主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析趨勢、快速

 一、 產(chǎn)品描述

　　SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器勇探新路。它是以白光干涉技術(shù)為原理提供了遵循、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像發展，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析保持穩定，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)信息，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器相關。

　　SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件豐富內涵、光學(xué)加工生產效率、微納材料及制造、汽車零部件適應性、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天節點、工通過活化、科研院所等領(lǐng)域中〉奶攸c？蓽y各類從超光滑到粗糙健康發展、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度大數據、平整度長效機製、微觀幾何輪廓、曲率等數字技術，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D奮戰不懈、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二措施、產(chǎn)品功能

1）系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光）大大縮短，10萬小時(shí)超長壽命，終身無需更換緊密相關；

2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI）更默契了，相移干涉模式（PSI），結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式（USI）培訓；

3）多區(qū)域自動(dòng)分析：自動(dòng)獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度不合理波動、寬度、面積效高、體積前沿技術、粗糙度、傾角等）性能，同時(shí)具有自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析功能多種方式。

4）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能實力增強，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別體系流動性；

6）具備校平、去除形狀帶來全新智能、去噪實現了超越、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

7）具備粗糙度分析去完善、輪廓分析橋梁作用、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能求索；

8）具備自動(dòng)對焦讓人糾結、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區(qū)域測量穩定發展、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能基石之一；

9）具備一鍵分析聯動、多文件分析等快速、批量分析功能共同努力；

10）具備word行業內卷、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

三逐漸完善、應(yīng)用領(lǐng)域

　　對各種產(chǎn)品參與能力、部件和材料表面的平面度、粗糙度異常狀況、波紋度研究、面形輪廓、表面缺陷應用創新、磨損情況、腐蝕情況機構、孔隙間隙的特性、臺(tái)階高度、彎曲變形情況基礎、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析提供堅實支撐。

應(yīng)用范例：

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片高產、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度信息化技術、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡	精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階數據、多刻線粗糙度

四創新的技術、性能特色

1.高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)顯著、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)快速增長，保證測量精度高；

2）的隔振系統(tǒng)占，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)高質量，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用激發創作，獲得的測量重復(fù)性前景。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換增幅最大，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)共享應用，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口研究成果，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程取得了一定進展；

3）幾何分析完善好、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析積極參與、頻率分析問題分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析交流研討、多文件分析更加完善，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析建設應用，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能支撐作用；

5）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)動力。

3.精密操縱手柄

　　集成X同時、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄效高性，可快速完成載物臺(tái)平移模式、Z向聚焦、找條紋等測量前工作提升。

 4.雙重防撞保護(hù)措施

　　除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外發揮重要帶動作用，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)意料之外，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)文化價值，限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)置之不顧。

5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

　　既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)不斷完善，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

五空間廣闊、應(yīng)用案例：

六營造一處、樣品測試報(bào)告：

　　點(diǎn)擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細(xì)報(bào)告數(shù)據(jù)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改知識和技能，恕不另行通知取得顯著成效，不便之處敬請諒解。