平面氣浮直線電機(jī)平臺
采用XY軸共面設(shè)計(jì)的RXT210-XY系列氣浮平臺擁有比一般XY平臺更加優(yōu)秀的平面度及形位公差，無鐵芯直線電機(jī)保證了運(yùn)動軸的運(yùn)動精度質生產力、高動態(tài)響應(yīng)以及運(yùn)動效果均勻性適應性強，花崗巖底座更是為的平面度提供了保證，是晶圓檢測以及高精度面型微加工的先進的解決方案。
主要性能參數(shù)：
*平臺速度取決于有效行程拓展、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動器的時鐘頻率，不同配置會導(dǎo)致此項(xiàng)參數(shù)上限值的變化宣講活動，詳詢廠家
**速度均勻性又稱速度誤差不斷進步，與速度所處區(qū)間關(guān)系較大，速度越慢速度誤差比例越大，低于1mm/s的應(yīng)用規模，推薦采用線性驅(qū)動器
***此數(shù)據(jù)為實(shí)驗(yàn)室實(shí)測數(shù)據(jù)上限近年來，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器發展目標奮鬥，詳詢廠家
RXT210-XY外形尺寸圖
此數(shù)據(jù)為標(biāo)定后參數(shù)
*實(shí)際尺寸會根據(jù)客戶所需的行程來確定
**如需要進(jìn)一步的尺寸信息或者3D圖檔技術先進，請直接聯(lián)系廠家
產(chǎn)品型號命名規(guī)則：
RXT210 - X*Y - ER 5 C15
1 2 3 4 5
1RXT210為產(chǎn)品系列，ABT為直線電機(jī)平臺的英文縮寫延伸，210代表著平臺滑塊部分的寬度
2X*Y代表著該型號產(chǎn)品的有效行程認為，單位mm，標(biāo)準(zhǔn)品請從產(chǎn)品樣冊的型號中選新趨勢，如需其它行程提高鍛煉，可聯(lián)系廠家溝通定制
3ER代表編碼器的類型，所有直線電機(jī)產(chǎn)品默認(rèn)采用直線開放式光柵
45代表該型號產(chǎn)品光柵的分辨率凝聚力量，單位nm有所提升，默認(rèn)產(chǎn)品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細(xì)分后所得新的力量，分辨率的改變會導(dǎo)致平臺速度以及重復(fù)定位精度的變化先進水平，詳細(xì)情況請進(jìn)一步咨詢廠家
5C15代表設(shè)備出線長度為1.5m，單位m全面展示，默認(rèn)產(chǎn)品出線長度1.5m重要平臺，可選0.5m/1m/3m/5m等，寫作05/10/30/50共同學習，出線長度會因產(chǎn)品型號不同存在誤差順滑地配合，如設(shè)備對出線長度要求較高，請聯(lián)系廠家進(jìn)一步溝通
特別注意事項(xiàng)：
1效高、直線電機(jī)平臺屬于高精度精密設(shè)備前沿技術，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境性能，尤其在使用要求重復(fù)定位精度小于1um的設(shè)備上多種方式，所有指標(biāo)的復(fù)現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度技術創新、氣壓深入交流研討、振動等，詳細(xì)要求可進(jìn)一步聯(lián)系廠家咨詢溝通
2廣泛應用、所有平臺可單獨(dú)訂購關註度，如對設(shè)備的精度以及性能要求較高，推薦使用奧正智能自主生產(chǎn)的MCS控制器系列哪些領域，搭配MCS系列控制器出貨的產(chǎn)品敢於挑戰，在出廠檢驗(yàn)中都會做針對性的優(yōu)化和校準(zhǔn)不斷創新，是您高要求使用的。
3探索、氣浮平臺需搭配空壓機(jī)、儲氣罐產業、冷干機(jī)滿意度、油水分離器、過濾器可持續、干燥器主要抓手、調(diào)壓閥等輔助配件，詳細(xì)規(guī)格請咨詢廠家
