用途和特點：
　　可廣泛適用于計量實驗室對高精度平面的平面度檢測和鑒定緊迫性。能根據(jù)不同的要求打印出各種平面度測試的彩色等高圖以及三維立體透視圖結構。并給出波峰波谷值（PV），面形誤差（Em）高效，均方根值（Rms）溝通協調，光圈數(shù)等面形評價參數(shù)。人體溫度對測量可靠性的影響為最小體系。

儀器的配套性：
　　改型的XQ15-GⅠ激光平面干涉儀保障性、1/3英寸CCD、14″監(jiān)視器開拓創新、掃描驅動器持續發展、驅動器電源、電腦促進善治、EPSON720彩色打印機創造性。
　　電腦配置要求：CPU PⅢ以上，128兆內存道路，16兆顯存顯卡規模設備，視頻捕捉卡。

技術參數(shù)：

1. 標準平面（A面）指導，工作直徑D1=Φ146mm競爭力，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標準平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm進一步完善，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm集聚，焦距 f = 400mm

4. 光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm